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硅片分类检测验收标准
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附件:
硅片分类检测设备验收报告
(一)整体检查项目检验方法合格标准合格不合格不确定备注主体颜色目视比对RAL9016漆面目视检查漆面颜色均匀,无气泡、脱落等缺陷设备主体
表面目视检查无划伤、裂纹、变形等可见缺陷零部件检查材料和零部件均为全新的、合格的产品,且规格、数量、品牌、产地与设备清单相符。备品备件检查数量、规格、图纸符合技术协议要求培训检查内容、时间和培训效果符合技术协议要求(二)设备主要结构项目检验方法合格标准合格不合格不确定备注操作方向目视检查 “左进右出” 主要零部件核实与技术协议及卖方提供的BOM list相符主要尺寸确认技术协议、卖方提供的CAD图及
相关技术文件主体部分目测核实1个上料机构,1个光学检测模块,1个厚度和电阻率检测模块,1个少子寿命检测模块,1个下料机构(包括分档堆叠和直接插入花篮)传输系统目测核实机械手2套,皮带传送系统控制系统目测核实人机控制台3个(三)软件项目检验方法合格标准合格不合格不确定备注软件功能检查能实现数据的存储和导出、分级权限、关键参数修改、提示报警信息、显示设备各模块运行状况等功能。存储功能核实能实现对不良片进行自动图片保存功能。设备参数设置检查功能软件参数可以更改设置。工艺方案设置更换电池片规格生产线可适用于不同规格电池片(四)主要性能指标项目检验方法合格标准合格不合格不确定备注生产能力核实大于2800 pcs/hr(L156×W156)系统稳定性核实设备调试完成后连续无故障运行24小时。碎片率核实设备在完成调试完成后稳定运行产出5000片,碎片率≤0.2%可靠性核实设备完成调试后稳定运行15日,开机率不低于97%【开机率%=(待机时间+正常生产时间)/(待机时间+正常生产时间+故障时间+停机维护时间)×100%】厚度和TTV测试核实分别对五片硅片同一位置测试20次,最大点和最小点间的区别须在+/-1μm 之内。电阻率核实分别对五片硅片进行测量,每片硅片检测 20 次,各检测结果须满足技术协议中各项指标要求。少子寿命测试核实分别对五片硅片进行测量,每片硅片检测 20 次,各检测结果须满足技术协议中各项指标要求。几何尺寸测试核实对五片不同尺寸的硅片进行测试。每一片做 20次测试。结果须符合技术协议中要求的指标。垂直性核实对五片不同尺寸的硅片进行测试。每一片做 20次测试。结果须符合技术协议中要求的指标。崩边、V型缺角测试核实对五片具有该缺陷的硅片进行测试。每一片做 20次测试。结果须符合技术协议中要求的指标。裂纹核实对五片具有该缺陷的硅片进行测试。每一片做 20次测试。结果须符合技术协议中要求的指标。表面脏污核实对三种不同的污点(带有较重的污点,带有一般的污点,在边缘上有污点)的各五片硅片进行测试。每一片做 20次测试,检测结果须满足技术协议要求。微裂纹核实对五片带有微痕的硅片进行测试。每片测试五次,每次测试结果须都能检测出微裂缺陷。孔洞核实对五片具有该缺陷的硅片进行测试。每一片做 20次测试。检测结果须符合技术协议中要求的指标。(五)安全项目检验方法合格标准合格不合格不确定备注紧急报警
停止操作检查功能触发时,系统停止操作,出现报警信息非紧急报警
警告检查功能触发时出现警告信息EMO验证每个急停开关是否正常工作按下时电机停止工作危险标识检查设备上的
危险标识一般安全标准信号灯检查信号灯的功能一般安全标准(六)随机文件项目检验方法合格标准合格不合格不确定备注机台操作说明检查符合技术协议要求维护说明检查符合技术协议要求主要电气原理图检查符合技术协议要求设计图
(总图)检查符合技术协议要求BOM
(原材料清单)检查符合技术协议要求备件清单检查符合技术协议要求易损件清单检查符合技术协议要求CE/制造商
合格声明检查符合技术协议要求改进意见
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