硅片检验规程JY015.docVIP

天威新能源(成都)硅片有限公司文件编号TNG.J JY.015-2009版 次A硅片检验规程生效日期2009年02月10日 第 PAGE 5页 共5页 目的 为加强成品质量控制，规范成品检验方法及步骤，特制定此规程。 范围 本文件规定了对成品进行检验的标准等。 本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。 设备、工模具、材料 Manz硅片分选设备、PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。 内容 4.1 检验方式 4.1.1 外观 全检，即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测，从而判断每一件产品是否合格。 4.1.2 电学及其他性能 抽检，每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、、厚度、TTV、少子寿命等进行检验。在有特殊要求时，按一定比例对硅片的氧碳含量进行抽检。 4.2 检验步骤 每个硅块抽取200片用Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验； 在抽检的200片当中如果有30及30片以上的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则对该硅块所有的硅片用Manz硅片分选设备进行检验，之后再对所有硅片进行外观上的检验； 在抽检的200片当中如果只有30片以下的硅片（导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等不符合要求硅片数的总计）不满足4.3中相关要求，则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等，该硅块其他硅片不再进行导电类型、电阻率、厚度、TTV、少子寿命等的检验，连同抽检的200片硅片中剩下的硅片进行外观上的全检； 例如：如某一硅块理论切片数为535片，抽检了200片，当中有29片不满足4.3中相关要求。则将29片判定为导电类型不符、电阻率不符等，剩下的171（200-29）片连同前面的335片（535-200）进行外观上的全检； 编制：校对：审核：标准化： 批准：发送部门份 数 依据4.3中相关要求对硅片进行分类。 4.3 技术要求 按质量要求将硅片分为A级硅片、B级硅片、C级硅片、D级硅片四级，如下表1。其中将A级硅片按电阻率分为A1（0.5～3Ω.cm），A2（3～6Ω.cm）2个类别，B级硅片按部分性能不满足A级硅片要求分为B1，B2，B3，B4，B5，…，B9共9种类别；C级硅片指由清洗、检测和包装过程中产生的碎片，经判定能将其划成一定尺寸的小规格硅片（如125mm×125mm），其他检验参数符合A级硅片标准。具体要求见下表。硅片公司按A级硅片生产，允许按用户要求提供B级硅片或是C级硅片。 表1 太阳能多晶硅片质量等级分类方法序号检验项目ABC D 检测方法检验方式A1A2B1、B2、B3…B91导电类型PP可划片（不合格产品），但在划为小规格尺寸（125×125）硅片后，其他性能符合A级硅片标准不合格产品，即不满足A、B、C级要求的硅片均归为D级硅片分选设备抽检2隐裂、针孔无隐裂、无针孔无隐裂、无针孔硅片分选设备抽检3崩边长度≤1 mm，深度≤0.5 mm，每片崩边总数≤2 处；长度≤1 mm，深度≤0.5 mm，每片崩边总数≤2 处；B1— 1mm＜崩边长度≤5mm，1mm＜深度≤2mm，1＜崩边总数≤3目测全检4TTV≤30 μm≤30 μmB2— 30μm＜TTV≤50μm；硅片分选设备抽检5厚度200±20 μm200±20 μmB3— 厚度偏差超过±20μm但小于±40μm硅片分选设备抽检6尺寸156±0.5 mm156±0.5 mmB4— 硅片尺寸偏差超过±0.5mm但小于±1.0mm硅片分选设备抽检7倒角1±0.5 mm、45°±10o1±0.5 mm、45°±10oB5— 倒角尺寸偏差超过±0.5mm但小于±0.8mm硅片分选设备抽检8线痕深度≤8 μm深度≤15 μmB6— 15μm＜深度≤30μm目测、必要时使用表面粗糙度仪帮助判定全检9电阻率0.5-3Ω?cm；3-6Ω?cm0.5-3Ω?cm；3-6Ω?cmB7— 电阻率＜0.5Ω.cm硅片分选设备抽检10少子寿命≥2μs≥2μsB8— 0.5μs≤少子寿命＜2μs少子寿命测试仪按硅块检验规程进行抽检 续表1 序号检验项目A BCD检测方法检验方式 A1 A211表面质量状况硅片表面及侧面无凹