微传感器和微执行器(第2部分)概述.ppt

第5章 微传感器和微执行器(第2部分); 有一些特殊的材料，比如某种聚合物，当暴露在某种化学物质中的时候，其形状会发生变化（包括湿度的改变）。我们可以通过测量这种材料的尺寸变化来检测这种化学物质。; 工作原理和化学电阻式传感器类似。有些半导体金属，如SnO2，当吸收了某种气体后可以改变自身的电阻。 ;微型触觉传感器 ; 32?32个元件的压阻式敏感法向压力的触觉传感器。有1到2 mV.cm2/Kg（?10到20 ?V/kPa)的灵敏度。 ;声波传感器;四种主要的声波传感器类型;微型红外传感器;光纤敏感;基于场效应晶体管（FET)传感的加速度计;利用FET栅的位移敏感的加速度传感器;射频谐振敏感——谐振式压力传感器;微执行器的概念; 自1982年静电微马达的研制成功至今，对微执行器的研究工作正在深入。设计执行器的要求是在动力源的驱动下能够完成需要的动作。因而，在涉及到运动的微型系统中执行器十分重要。;微机械执行器是组成微机电系统的要素之一。如，力学执行器是将电能或其它能量转换为机械能。 理想的执行器应该是使用很少的能源，具有很高的机械效率，对机械状态和环境条件适应性强，需要时能产生高速运动，具有高的能量-质量比，在控制信号与力、扭矩和速度之间呈线性比例关系。 ; 与传统执动器相比，微执动器的特点有 微系统加速快、速度高； 仅需极小的驱动力； 随元器件尺寸的微型化、热膨胀、振动等环境干扰因素小。;微致动器的分类;微执行器的致动方式;主要优点;偏压作用下静电执行器的平衡位置;下图中的两条曲线，分别代表机械回复力与静电力随电极位置的变化。对于恒定的偏置电压U,机械回复力(Fmechanical )随着极板位置线性变化，静电力(Felectric)随着极板位置非线性变化。;电压增加时，静电力曲线族上移，平衡位置离静止位置越远。;平行板执行器的吸合(pull-in)效应; 如图所示，一平行板电容器是由尺寸 （或1 mm）的方板组成的。当两板间距为 ，求法向静电力。平板由静止空气隔开。 ;解： 作用在平板上的法向静电力 的大小，可以由公式计算出来，其中空气为 绝缘介质，相对介电常数为 ，真空介电常数为 or;静电梳齿驱动;图 三种不同的梳状驱动;静电梳齿驱动实例;梳状驱动器件的应用;2.执行器 梳状驱动执行器常常用来产生面内或离面位移。 用于光开关的梳状驱动器;大位移梳状驱动执行器;静电悬臂驱动; 从工程力学理论可以知道，宽度为w的悬臂梁，在距固定端X处施加集中载荷时，梁末端的偏移量δT可由下式给出： 其中，距离梁固定端x处的静电力q(x)为 ：;静电旋转微型马达;“尺蠖” 执行器;静电光开关;静电致动微泵;微执行器的致动方式;热膨胀式：利用执行器加热时本身材料的体积膨胀驱动。 热气动式：一种典型的方法是形成带有密封流体（如空气、水蒸汽和液态水等）的空腔，气腔中的流体被加热后就会膨胀，压力增大，从而推动薄膜运动。 ;现在很多喷墨打印机都是利用墨水的热膨胀来喷出墨滴。热喷墨打印机墨嘴的示意图如下图所示。;固体热膨胀：双晶片热执行器;双晶片热执行器;双金属致动器;a热膨胀系数，t厚度，b宽度; 美国IC Sensors利用这种双金属片致动原理研制的阀。其中，硅膜厚、直径为，铝层厚，常开间隙为的阀可控0.2MPa的气流，泄漏仅为45μL/min ;热气动式：体积膨胀和相变执行器;微执行器的致动方式;; 德国Ilmenau技术大学研制的压电致动硅微无阀泵，其最大流量为7.5mL/min，最大背压为2.8kPa。 ;压电式微执行器实例(3);压电扫描隧道显微镜探针的运动模式为; 如图所示将一片晶体安装在微执行器的一根弹性硅梁上。在压电晶体上加电压使其产生形变，引起弹性硅梁的弯曲。压电晶体致动器在微定位机构和微型夹具等方面都有应用。 ;微执行器的致动方式; 在预置温度T时弯曲的合金片依附在硅悬臂梁上。室温时梁是直的。当把梁和附于其上的合金片加热到温度T时，合金的“记忆”被唤醒并试图恢复原来的弯曲形状。合金的弯曲迫使悬臂梁一起变形，由此达到致动效果。这种方式的致动被广泛用在微型旋转致动器、微型关节和机器人、以及微弹簧上。 ;优点：相对的“线性”控制和很高的应力（大于200MPa），如果应变保持在2℅以下，就可以工作几百万个循环。 缺点：需要特殊的合金和很高的功耗。