高电压新技术概念.ppt

高电压新技术——气体放电与应用;引言;第一部分 气体放电基础;典型的气体放电实验装置;气体放电的全伏安特性;直流放电的类型;汤生放电理论J.S.Townsend,1868~1957, 英国;帕邢定律Paschen,1865~1947,德国;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;气体放电元过程;辉光放电 电弧放电 电晕放电 火花放电 介质阻挡放电 射频放电 微波放电 ……;辉光放电（压强约1Torr）;辉光放电各部分发光颜色分布;朗缪尔(Irving Langmuir,1932年Nobel化学奖); 冷阴极电子发射，主要依靠正离子轰击阴极产生二次发射电子 阴极附近有正空间电荷层和一个较大的阴极势降 从负辉区流人阴极区域的正离子，受鞘层电场加速后与阴极碰撞，引起二次电子逸出(γ作用)。这些二次电子又在鞘层电场的加速作用下向阳极方向运动，成为高能量的电子束，从而引发电离(α作用)。也就是说，辉光放电是在鞘层电场的基础上由γ作用和α作用所共???维持的。;辉光放电的特性参数;大气压辉光放电;大气压下辉光放电的困难;高气压辉光放电均匀措施;2) 陡脉冲;电弧放电 ;电晕放电 ;刷状放电 ;电晕放电;火花放电;雷电;介质阻挡放电;同轴结构;介质阻挡材料——玻璃、石英、陶瓷以及聚合物等，有时还采用一些具有保护涂层或者其他功能涂层如驻极体材料等。 频率过高则介质层将失去阻挡作用，因而介质阻挡放电驱动电压频率范围为50Hz～10MHz。 放电电压范围为几百伏特到几千伏特。 根据不同的应用背景，放电间隙为0.1mm～几cm。 放电气体可以流动，也可以循环使用，也可静止。 放电气体可以是惰性气体如He、Ne、Ar，可以是分子气体如氮气、氧气、空气，也可以是其他反应性气体如CCl2F2, CClF3 and CHClF2 ;高频放电和微波放电;用于放电的三种天线耦合方式;平行板加RF电压——电容耦合等离子体;线圈通RF电流——感应耦合等离子体;强电波照射——表面波等离子体;使用磁场中的波——ECR等离子体和螺旋波等离子体;在磁场中，给天线通以频率远低于电子回旋频率(ωc)的高频电流，即使在低气压下也可以容易地生成高密度的等离子体。这样生成的等离子体叫做螺旋波等离子体。 图中，天线部分直径0.1m左右，在0.01T的弱磁场中对天线输入13.56MHz、1kW的高频信号后就可以在1～5Pa的压强下得到密度为1018～1019m－3的强电离等离子体。;第三部分 气体放电等离子体的应用;等离子体热喷涂;等离子喷涂技术的应用;Surface coating for engine housing ;Real metal design on black granite and ceramic ;等离子体对高聚物表面处理的应用;等离子体刻蚀与LSI制造工艺;LSI制造;等离子体焊接和切割;气体放电光源;等离子体电视; 体外冲击波碎石术是高压强脉冲放电技术在医疗领域中的一项成功的应用。它的基本原理是利用在水中发生高压强脉冲放电时形成“液电效应”而产生冲击波，以及冲击波可以被聚焦这一物理现象和特性。当冲击波从人体外部传入人体内部并在人体内部的结石处聚焦时，处于冲击波焦点范围内的结石在聚焦后的强烈冲击波反复冲击下逐渐碎裂。破碎后的结石粉末和小颗粒随尿液自行排出体外，从而使结石患者的结石症得到治愈，并免受传统的外科手术之苦。;核聚变－Tokamak;ITER