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微米光栅加速度计机械性能研究 关键词：光栅加速度计; 双端固支梁; 机械性能；有限元分析；灵敏度；固有频率；机械结构参数；三维实体 摘要：首先介绍了一种微米光栅加速度计及其原理, 分析了此加速度计采用的双端固支梁结构的机械性能。 利用图示方法介绍了光栅加速度计得工作原理.对光束、光强进行分析，从而指出光强的变化量就可以得出加速度的大小。 对光栅加速器的结构参数进行理论分析，指出了传感器的灵敏度是传感器的主要静态特性, 频率特性是传感器的主要动态特性， 为了提高测量的精度,就必须在设计的过程中提高传感器机械结构的灵敏度。采用材料力学的知识又对传感器的工作频率和固有频率进行计算演示、理论分析、列出图表，最后得出结论：要综合考虑灵敏度和固有频率2 个因素, 以确定加速度计机械结构的尺寸。 利用ANSYS建立其三维实体有限元模型, 对在惯性载荷作用下的双端固支梁的机械灵敏度进行了模拟, 并对双端固支梁的机械性能进行静态分析和对双端固支梁结构进行模态分析，用计算的方法向我们阐明了：虽然弹性结构的固有频率满足指标要求, 但灵敏度偏低. 首先指出：弹性结构的灵敏度与固有频率是2 个相矛盾的问题，然后通过演示计算的方法讨论了各参数变化对灵敏度、固有频率等主要指标的影响程度, 并优化了机械结构参数, 达到了优化设计的目的。最后得出结论： 经过对弹性结构几何尺寸的调整, 弹性结构的灵敏度有很大提高, 固有频率符合设计要求. 参考文献: [ 1] 徐鹏, 祖静, 林祖森. 微加速度计的力学分析[ J] . 传感器技术, 2002, 21( 6) : 62 ?? 64. [ 2] 李科杰. 新编传感器技术手册[M] . 北京: 国防工业出版社, 2002: 156?? 157. [ 3] 赵经文. 结构有限元分析[M] . 北京: 科学出版社, 2001. [ 4] 王伟, 郝雁. 压阻式加速度计双端固支梁结构的设计与分析[ 5] . 传感器技术, 2002, 22( 10) : 30 ?? 32. [ 6] 裴荣, 周百令, 李坤宇, 等. 模态分析在高精度加速度计结构设计中的应用[ J] . 中国惯性技术学报, 2006, 14( 4) : 39?? 43. [ 7] 鲍爱达, 徐晓辉, 张英祥, 等. 微加速度计固有频率推导及验证[ J] . 传感技术学报, 2008, 21( 6) : 989 ?? 993. [ 8] 孟美玉, 刘军, 石云波. 三轴压阻微加速度计的结构力学分析[ 9] 中国惯性技术学报, 2007, 15( 3) : 355?? 358.