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SAW传感器[浏览次数：约145次] SAW传感器即表面声波传感器，它是基于声表面波（Surface Acoustic Wave）技术的一种应变传感器。它能够检测出EPS操控与动力系应用中的扭矩和温度，以及TPM系统中的压力和温度。尤其适合于检测旋转部件或者那些接触起来很难活很危险的部件。 目录 SAW传感器的特点 SAW传感器的设计因素 SAW传感器的基本原理 SAW传感器的测量方法 SAW传感器与QCM传感器的比较 SAW传感器在汽车电子的应用 SAW传感器的发展趋势 SAW传感器的特点 1、高精度，高灵敏度。将被测量转换成频率进行测量，频率测量精度很高，有效检测范围线性好，抗干扰能力强，适合于远距离传输。 　　2、数字化频率信号易于传输，处理，与计算机接口。 　　3、制作与集成电路技术兼容，易集成化，智能化，重复性和可靠性好，适于批量生产。 　　4、体积小，重量轻，功耗低，可获得良好的热性能和机械性能。 SAW传感器的设计因素 SAW传感器在设计时应注意以下因素： 　　1）面对一般干扰环境因素； 　　2）面对的恶意干扰环境因素； 　　3）人机界面接口； 　　4）参数的自我收敛性能； 　　5）内、外各类信息、能量的交流新能等。 SAW传感器的基本原理 SAW传感器的基本原理是：利用被铡量对saw元件作用， 改变sAw的传播速度，于是波长也相应变化，进而改变了通过延迟线的相位变化 φ 2πL／λ L为延迟线长度 ，破坏了振荡器的相位平衡条件；由于IDT有一定的迎频带，所以改变振荡频率，重新达到相位平衡条件。 　　振荡频率变化和SAW 传播速度变化应满足下列关系： 　　因为延迟线上相位变化要保持不变， 即 　　SAW传感器由于是利用振茴频率变化测出传播速度的变化，所以它的灵敏度很高 百万分之一 。同时，它同数字数据系统相适应，对放大器的要求也不高。 SAW传感器的测量方法 SAW传感器的测量方法有多种，主要有四种如下图所示： a 网络分析仪测量频谱变化， b 矢量电压表测定相位变化， C 谐振回路测定频移，以及 d 为消除环境变化 如温度变化 引起的误差，采用双通道差分方法测定频移，测量更准确、方便。在实际测量中，可根据具体条件选择适当的方法。 SAW传感器与QCM传感器的比较 石英晶体微量天平（quartz crystal microbalance，QCM）和表面声波器件（surface acoustic wave，SAW）。它们具有结构简单、体积小、成本低、响应时间短、灵敏度高、可靠性好等优点而广泛应用于分析化学、环境监测以及现场气体检测等方面。 　　随着微制造技术的发展，集成化、批量化生产的工艺的逐渐成熟，微型SAW传感器在战地环境检测方面发挥着重要作用。 　　QCM 和 SAW 都属于压电型传感器，由压电性产生声波信号，通过测量声波参数（振幅、频率、波速等）变化而获得被分析U检测物的信息。QCM属于体声波（bulk acoustic? wave，BAW）一般也称为厚度剪切模式（thickness shear mode，TSM）因声波从石英晶体或其它压电材料的一面传递到另一面，在晶体内部传播而命名。而SAW器件是声波在晶体表面上传播，从一位置传递到另一位置。在传递过程中，当基片或基片上所覆盖的特殊材料薄膜与被分析的物质相互作用时，声波的参数将发生变化，测量变化量即可得到被分析物的（质量和浓度等）相关信息。 SAW传感器在汽车电子的应用 如图1所示，安装了SAW谐振器的石英管芯通常采用片状不锈钢封装，直径约为11mm，厚度约为2mm，重量 2gm。 　　对于胎压检测应用，该管芯位于两个突出部分，受上表面隔膜通过中心气针的顶压而变形。询问和反向散射信号通过一个普通的鞭状天线被广播出去。 　　对于扭矩检测应用 如图2所示），该管芯粘贴在片状外壳的底部，整个器件再与待测扭矩的组件相连。询问和返回信号通过非接触式平面耦合器向外发射。 　　在TPMS和扭矩检测管芯中，三个SAW谐振器产生两个频率差值，一个正比于压力或扭矩，其他的正比于温度。这种方法能够检测出带温度补偿的压力和扭矩，也可以单独用作温度监测。 　　对于TPMS，SAW传感器的安装也有多种方式，可以采用粘贴式橡胶块安装在轮胎上，或者安装在气门上 橡胶和金属材质），或者在低压安全胎上固定在车轮中。用户可以调整灵敏度，以满足从气压为10巴的卡车到气压为2巴的赛车的需要。典型精度为全标度的1％。 　　图1. 石英管芯通常采用片状不锈钢封装，直径约为11mm，厚度约为2mm，重量 2gm。 　　图2. 对于扭矩检测，传感器管芯粘贴在片状管壳的底部。 　　对于扭矩测量 如图3所示），传感器与传动轴或圆盘相连，谐振器以±45°的典型方向角检测剪切应变的压力分量。