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扫描隧道显微技术Scanning Tunneling Microscope 刘永 2014.11 扫描隧道显微镜出现背景 1986年，STM的发明者宾尼和罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖 扫描隧道显微镜出现意义 目前具有原子分辨率的科学仪器主要有三种：透射电子显微镜(TEM)，场离子显微镜(FIM)和STM。TEM研究的是物体的体性质；FIM只能研究可制备成极细针尖的固体样品表面原子. STM利用电子在针尖和样品间的隧道效应产生的隧道电流，达到了原子分辨率。 STM的出现使人类第一次能够在实空间实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理、化学性质。如，1983年G. Binning等人首次给出了Si(111)7x7重构表面的实空间原子像 STM在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广阔的前景，被国际科学界公认为20世纪80年代世界十大科技成就之一 一、STM结构及工作原理 二、STM特点 三、STM, TEM, SEM, FIM的比较 四、STM前沿发展 一、STM结构及工作原理 二、STM特点 三、STM, TEM, SEM, FIM的比较 四、STM前沿发展 一、STM结构及工作原理 1、隧道效应和隧道电流 扫描隧道显微镜是根据量子力学中的隧道效应原理，通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置。 那么什么是隧道