测控技术与仪器毕业设计（论文）-霍尔离子源的结构设计--147072626.docVIP

西安工业大学 本科毕业设计(论文) 题目：霍尔离子源的结构设计 系 别： 光电信息工程 专 业： 测控技术与仪器 班 级： 学 生： 学 号： 指导教师： 2011 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 毕业设计（论文）任务书 院（系）光电信息工程专业 测控技术与仪器 班级姓名学号 1.毕业设计（论文）题目： 霍尔离子源的结构设计 2.题目背景和意义： 背景和意义: 离子束辅助沉积技术是薄膜沉积（IBAD）技术中一项比较重要的技术，它对提高膜层致密度、附着力以及膜层的光学和机械等特性方面具有非常重要的作用，近年来随着对光学薄膜质量的进一步提高和对大口径光学元件镀膜的需要，在实际的薄膜镀制过程中对所使用的离子源的口径和发射的离子束流密度等提出了更高的要求。基于以上原因提出了该课题：“霍尔离子源的结构设计”。 3.设计(论文)的主要内容（理工科含技术指标）： 该题目主要内容的要求： （1）查阅相关文献资料了解离子束辅助沉积技术的发展和应用特点，并对现有的离子束辅助沉积中用到的离子源进行简单分类并了解用于离子束辅助沉积的这几大类离子源的基本工作原理； （2）在此基础上，进一步了解冷阴极离子源和霍尔离子源基本结构，要求设计阴极离子源