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专业实践A 实 践 报 告 姓名： 学号： 班级： 指导教师： 提交日期： 专业实践报告 浅谈对功能材料的认识； 2、浅谈对参考学院各实验室和观摩功能材料制备过程的认识； 真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。 参观完各类仪器设备之后老师又带领我们完成了两组实验，分别是真空离子结烧试验和真空等离子溅射镀膜实验。 真空离子结烧实验主要是制备生物材料人工骨的过程。制造人工骨的过程其实就是粉末冶金的过程。其主要步骤为： （1）装入模具。将所需粉末装入事先准备好的模具，此处所用材料为钛粉，因为太具有质量轻、五毒等优点，适用于制造人工骨。将钛粉装入由石墨制造的模具内，填满、塞紧。 （2)压制成型。将装入模具的钛粉放入全自动压力试验机内压制成型。 （3）烧结。将压制成型的钛粉放入真空烧结炉内在1150℃下烧结10至15分钟即可。在烧结过程中可透过仪器看到压制成型的钛粉随温度的上升发出明亮的光。 待其冷却后，将钛粉从模具内取出，可以看待一段表面疏松、坚硬、并带有金属光泽的柱体，这就是烧结成功的人工骨。 经过实验让我对制造人工骨过程有了较为详细的了解。对课本所学的知识有了很好的消化吸收，起到了进一步的巩固和完善。这对我们来说是一次学习和思想上的提高。虽然比较基本，但毕竟学到了很多东西，深切体会到现代科学技术对人类的伟大进步。这次实验虽然遇到了很多问题，幸亏有老师们和同学们的大力帮助，才使得我对这个实验成功理解。 真空等离子溅射镀膜实验主要是采用物理气相沉积技术（PVD）制备薄膜的实验。 PVD技术是在真空条件下，用物理的方法，将材料汽化成原子、分子或使其电离成离子，并通过气相过程在材料或工件表面上沉积一层具有某些特殊性能的薄膜。 用途：通常用于沉积薄膜和涂层，沉积涂层的厚度可从nm级到mm级变化。 PVD成膜方法与工艺 真空蒸发镀膜：真空室内加热的固体材料被蒸发气化或升华后，凝结沉积到一定温度的衬底材料表面。形成薄膜需经历三个过程：蒸发或升华，运输到衬底，吸附、成核与生长。 溅射镀膜：是指在真空中，利用核能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子在衬底沉积的技术。 离子成膜：利用气体放电产生等离子体，同时将膜层材料蒸发，一部分物质被电离化，在电场作用下轰击衬底表面，一部分变为激发态的中性粒子，沉积于衬底表面或膜表面。 在镀膜期间可透过仪器看到蓝紫色的离子束 溅射是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程。在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来。 通过这次实验我了解到了溅射镀膜的基本原理，通过这次实验，我也慢慢体会到做近物实验和之前普通物理实验有很大的不同。? 近物实验面对的都是“黑匣子”，如果在仪器面前只是机械地进行操作，实验就没有什么意义。虽然之前看懂了厚厚的实验讲义，但还是没有提纲挈领，抓住重点地理解实验原理，实际操作时每一步也不能及时想到这一步操作的原因。这是以后需要注意的地方。? 关于实验中要使用的仪器，不仅仅要提前到实验室看懂相关说明书，还要在实验时遇到问题时，及时与老师沟通，保证能及时测量实验数据。? 因此，以后在做实验预习的时候，不仅要弄懂实验原理，熟悉实验过程，更要加强重视对每一步操作的理解，对测量仪器的使用，才能更好地完成实验。 3、总结与体会。 1