第9章半导体传感器学习资料.pptVIP

9.2.2 半导体陶瓷湿敏电阻 通常，用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷。 负特性湿敏半导体陶瓷：电阻率随湿度增加而下降 ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、 TiO2-MgO-Cr2O3系、等 正特性湿敏半导体陶瓷：电阻率随湿度增加而增大 Fe3O4 图 9-9 几种半导瓷湿敏负特性 由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导瓷表面吸附时，就有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导瓷表面带负电。 Ｐ型半导体 Ｎ型半导体:表面反型层 1. 负特性湿敏半导瓷的导电机理 图 9-10 Fe3O4半导瓷的正湿敏特性 当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时，电子浓度下降，表面电阻将由于电子浓度下降而加大，这类半导瓷材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。 对某一种半导瓷，晶粒间的电阻并不比晶粒内电阻大很多，那么表面层电阻的加大对总电阻并不起多大作用。不过，通常湿敏半导瓷材料都是多孔的，表面电导占的比例很大，故表面层电阻的升高， 必将引起总电阻值的明显升高。 2. 正特性湿敏半导瓷的导电机理 图9-11 MgCr2O4-TiO2陶瓷 图9-12 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器 相对湿度与电阻的关系 3. 典型半导瓷湿敏元件 （1）MgCr2O4-TiO2湿敏元件 将多孔材料的金电极烧结在多孔陶瓷圆片的两表面上，并焊上铂引线，然后将敏感元件装入有网眼过滤的方形塑料盒中用树脂固定，其结构如图9-13所示。   ZnO-Cr2O3传感器能连续稳定地测量湿度，而无须加热除污装置，因此功耗低于0.5Ｗ，体积小，成本低，是一种常用测湿传感器。 （2）ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏元件 图9-13 ZnO-Cr2O3陶瓷湿敏传感器结构 Fe3O4粒子间的空隙使薄膜具有多孔性， 当空气相对湿度增大时，Fe3O4胶膜吸湿，由于水分子的附着，强化颗粒之间的接触，降低粒间的电阻和增加更多的导流通路， 所以元件阻值减小。 当处于干燥环境中，胶膜脱湿，粒间接触面减小，元件阻值增大。当环境温度不同时， 涂覆膜上所吸附的水分也随之变化，使梭状金电极之间的电阻产生变化。 （3）四氧化三铁（Fe3O4） 图9-14 Fe3O4湿敏元件构造 图9-15 MCS型Fe3O4湿敏器件的 电阻-湿度特性 图 9-16 MCS型Fe3O4湿敏器件的 温度-湿度特性 4. 湿度传感器的测量电路 （一）检测电路的选择 1、电源选择 一切电阻式湿度传感器都必须使用交流电源，否则性能会劣化甚至失效。 电解质湿度传感器的电导是靠离子的移动实现的，在直流电源作用下，正、负离子必然向电源两极运动，产生电解作用，使感湿层变薄甚至被破坏；在交流电源作用下，正负离子往返运动，不会产生电解作用，感湿膜不会被破坏。 交流电源的频率选择是，在不产生正、负离子定向积累情况下尽可能低一些。在高频情况下，测试引线的容抗明显下降，会把湿敏电阻短路。另外，湿敏膜在高频下也会产生集肤效应，阻值发生变化，影响到测湿灵敏度和准确性。 * 第9章 半导体传感器 第9章 半导体传感器 9.1 气敏传感器 9.2 湿敏传感器 9.3 色敏传感器 9.4 半导体式传感器应用 9.1 气 敏 传 感 器 9.1.1 概述 气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。 由于气体种类繁多, 性质各不相同，不可能用一种传感器检测所有类别的气体，因此，能实现气-电转换的传感器种类很多，按构成气敏传感器材料可分为 半导体 非半导体 按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部，可分为 表面控制型: 半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子接受，结果使半导体的电导率等物理性质发生变化，但内部化学组成不变 体控制型: 半导体与气体的反应，使半导体内部组成发生变化，而使电导率变化。 按照半导体变化的物理特性可分为 电阻型:利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体的成分或浓度 非电阻型: 利用其它参数，如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。 表9-1 半导体气敏元件的分类 气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的，由于检测现场温度、湿度的变化很大，又存在大量粉尘和油雾等，所以其工作条件较恶劣， 而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物，附着在元件表面，往往会使其性能变差。 因此，对气敏元件有下列要求：能长期稳定工作，重复性好，响应速度