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實用型光學式水平儀 指導老師：朱志良 教授　　 E-mail ：cliang@.tw E-mail ：座机电话号码@.tw E-mail ：座机电话号码@.twE-mail ：座机电话号码@.twE-mail ： s00195s@.twㄧ.摘要 　　本專題主要目的是開發一低成本、高精度之光學式水平儀。以市售商用光碟機 DVD-ROM 內之光學讀取頭為光路基礎，將光學讀取頭中的雙聚焦透鏡與音圈馬達拆除，產生本參賽作品所需要的準直雷射光源。於結構設計上，設計一微調整座來調整DVD讀取頭光束量測的基準點，而連接鋼珠球材料選用細繩，並在鋼珠球上面黏一鏡子，以作為擺錘之功用，鋼珠球底部浸泡在矽油 Silicon Oil 內，讓矽油產生阻尼之效果。當水平儀基座因待測物而傾斜時，其內部擺錘因移動所造成角度的變化量，利用光學讀取頭內建的四象限光感測器作為實驗中光點位置接收元件，搭配自行撰寫的量測軟體完成一實用型的光學式水平儀。目前國內朝向發展微小化、精密化的機械為目標，而機械設備的元件誤差影響其加工精度及產品品質，因此機械設備中的床台是一個很重要的機構元件，其水平度直接影響該設備的加工精度。平台是經由線性元件及其他元件設計組裝而成，具有多自由度運動，而機器中的各種運動之水平度如真直度誤差 Straight error 、定位誤差 Position error 、角度誤差 Angular error 將會影響整台機器的加工精度與品質，因此平台之水平誤差檢測為重要技術之一。 　　現今精密的量測單位成為科學發展的必要條件，精確的量測單位和方法受到很大的重視。隨著電子技術的不斷提升，自動化以及電子化的測量儀器便漸漸取代人工量測，且一般機械元件的真直度與角度，雖可使用量表或水平儀來進行量測，但對於光電實驗的移動平台、三次元量測儀、精密工具機等高精度產品及設備，將無法由現有量表 Dial Gauge 或水平儀得到精確的誤差值，必須採用光學非接觸式的方式來進行量測；另一方面，近年來電子影像由於半導體技術的成熟，高精密度、高可靠性的電子影像感測器已經普遍的深入我們日常生活之中，例如照相手機、數位相機、保全監視系統等消費性產品，皆是電子影像感測器廣泛應用的結果。因此本作品是採用市售的光碟機 DVD-ROM 內之光學讀取頭[1]改良成角度感測器，利用光學讀取頭內建的四象限感測器作為作品中光點位置的接收元件，設計一個體積小、精度高的光學式水平儀。 　角度量測在精密機械中的檢測是相當重要的一環。自1982年第一部CD Player上市以來，以雷射光讀取頭資料的技術便在不斷的更新。如今光碟機 CD-ROM或DVD-ROM 內之光學讀取頭 Pickup head 的發展已經非常成熟，其現成的光路設計與聚焦特性，更是適合應用在光學量測方面，加上成本低廉，因此近年來利用雷射讀取頭做為量測應用的研究不斷，至今已有不少使用DVD讀取頭做角度測量的研究：Armstrong, T. R. [2]利用CD讀取頭開發一小型自動視準直儀，其中線性區域的範圍可達16arcsec。而後亦有不少人利用此方式設計及開發自動視準直儀，Jabczynski, Jan K. [3]使用光電感測器製作出一二維角度感測器。Gao, Wei [4]更利用兩個距離感測器加上一個角度感測器並整齊排列以用於量測工件輪廓。Ehrmann, Klaus [5]運用讀寫頭距離量測以及角度量測同時量測工件表面。Gao, Wei [6]使用角度量測功能開發一套量測晶圓表面之儀器。Gao, Wei [7]使用角度量測功能讀取平面編碼器則可讀取到三軸向之角度變化量。Gao, Wei [8]使用自行設計之 16cell 的 photodiode array 以提高量測範圍達到2300arcsec，解析度可達0.01arcsec。 Shimizu, Hiroki [9]將讀寫頭搭配PZT力量感測器一同裝置在一筆管內，而由筆尖觸碰工件即可量測到兩軸向之角度偏擺以及Ｚ軸之高度變化量。Saito Yusuke [10]利用角度量測原理製作一自動視準儀。Chu, Chih-Liang [11]利用角度量測原理製作一二維加速規。 　　綜觀歷年的相關研究，得知利用光學讀取頭發展出的非接觸式量測法，能夠以其光學獨有的特性，達到高精度的檢測。又由於市售商用光碟機之雷射讀取頭，不但內含雷射二極體光緣，且光路中的光柵、分光鏡、四分之一波片、準直透鏡，與內建的光檢測IC等，都以成熟的技術將其整體化、微小化，非常適合應用在我們的專題上。本作品採用市售商用DVD光碟機之雷射讀取頭，內含雷射二極體光源、光柵、分光鏡、四分之一波片，與內建的光檢測IC、聚焦物鏡、音圈馬達驅動器等，主要用途是讀取光碟片上所儲存的數位資料，外觀如圖1所示。 圖1 DVD雷射讀