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一重编实验教学大纲的目的
电子信息材料专业方向大型实验教学大纲（综合实践类）
综合实践名称：电子信息材料专业方向大型实验
英文名称：Electronic Information Material Open Experiments
课程编号：1200405
面向专业：材料科学与工程 电子信息材料方向
课程总学时 3周 课程学分： 3 本大纲主撰人：董岩，邵起越 （Tel：座机电话号码，Email：dongyan@seu.edu.cn）
一、综合实践作用和具体目标
本综合实践环节是电子信息材料专业方向的必修环节，旨在训练学生的实验技能和实验思路。通过专业实验，使学生逐步掌握电子信息材料制备、性能测试的基本原理，了解制备与测试相关设备或仪器的工作原理和使用方法，同时对电子信息材料专业方向所学相关课程的知识进行巩固，提高学生的专业综合素质。
二、实践内容，学时分配与组织
1、实验名称及实验时间 共三周
序号 实践项目 实验内容 实验类型 实验时间 每组人数 备注 1 粉体材料制备及性能测试 高温固相反应法制备荧光粉材料 基本型 1.5天 1 必做 激光粒度仪法检测粉体材料粒度性能 基本型 0.5天0.5天天0.5天0.5天天天天天天0.5天0.5天0.5天1天0.5天0.5天1天1天0.5天.5天1天 备料→配料 0.5天 →高温灼烧及还原 2天 →后处理 0.5天 →各种性能测试 4天 →讨论 1天
3、综合实践项目二 “薄膜材料制备及性能检测”的安排
① 选用材料 单晶硅片，高纯Ti、Al靶，高纯氮气，高纯氩气等
② 工艺路线 备料→直流磁控溅射法 1天 →射频磁控溅射法 1天 →薄膜性能测试 1～2天 →溶胶凝胶法制备薄膜材料 1天 →讨论 1天
4、综合实践项目三 “半导体工艺实验”的安排
① 选用材料 单晶硅片（锗片），高纯氮气，氧气等
② 工艺路线 备料→半导体衬底清洗工艺 0.5天 →半导体性能测试 1～2天 →SiO2薄膜制备及性能测试 1～2天 →光刻技术与工艺（天）
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