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找出一种光电检测系统，给出实物图或原理图，介绍一下其工作原理，给出系统的检测对象、光源、光电转换装置。 下为实物图： 原子力显微镜（AFM）的基本原理基于探针与样品之间的原子力作用机制。当微探针在Z向逼近样品表面时，探针针尖的原子与样品原子之间将产生一定的作用力，即原子力，大小 约在10-8 ～10-12 N之间。当探针与样品进入原子力状态时，作用于针尖上的原子力推动微悬臂使之产生偏转。此时对样品进行XY方向的扫描，微悬臂的偏转量随样品表面的起伏而变化。通过光电检测器件检测这一偏转量，转化为不同的灰度值，即可获得样品表面的微观形貌的图像。 如原理图所示，系统的光源为激光。检测对象为特定物体微观表面的高度即起伏量，如光栅、特殊材料等。光电转换装置为位置敏感探测器（Position Sensitive Device，PSD）。通过微探针表面反射的激光信号在PSD上的位置检测，通过放大电路将信号放大，通过AD转换为数字信号传入计算机处理系统中进行处理并绘制出图像。同时控制系统也可发出控制信号，经过DA转换并放大来控制步进电机的移动，实现范围扫描。 Laser PSD I Sample Tip Scanner I Feedback Scan VY VX VZ Z 高压 放大器 放大器 Y X A/D D/A 高压 放大器 积分器 比较 放大器 前置 放大器 Vref