N型8寸单晶硅片试验报告2012-6-20.docVIP

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2016-11-22 发布于重庆
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N型8寸单晶硅片试验报告2012-6-20.doc

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N型8寸单晶硅片试验报告2012-6-20

N型单晶棒实验报告顺风光电研发部 2012-6-20 N型8寸单晶H-02-1206-29-1 实验日期：2012.5.30-2012.6.1 炉号：29# 石英坩埚：22寸实投料量：120kg 晶体型号：H-02-1206-29-1 原料品种：瓦克PCL-NCS纯料拉制型号：N100 直径要求：203-206mm 目标电阻率：0.5-3.5 参杂量：66.2g 过程数据分析 N型单晶生产参数变化趋势图注：横坐标是时间，单位刻度是1min,其中参量包括：加热板温度及温度设定，加热板功率及功率设定，加热板电流及电压，晶升上、下实际速度，副室温度，等径长度及重量，晶升速度设定。图表分析硅棒检测数据：　头部尾部表面电阻率 3.5?.cm 0.6 ?.cm 少子寿命 2450.7us 2375us 氧含量 0.9*1018 0.68*1018 碳含量 2.17*1016 4.16*1016 从以上数据来看，少子寿命、电阻率及氧碳含量均合格硅片检测：硅片厚度检测数据：硅片电阻率检测数据：电阻率分档：0.5-1共有399片；1-3共有3746片。硅片的各组数据显示硅片各方面参数合格。 N型8寸单晶H-02-1206-29-2 实验日期：2012.6.6-2012.6.8 炉号：29# 石英坩埚：22寸石英坩埚实投料量：120kg 晶体型号：H-02C-1206-29-2 原料品种：瓦克PCL-NCS纯料拉制型号：N100 直径要求：203-206mm 目标电阻率：1-6 ?.cm 参杂量：38g 运行记录 N型单晶生产参数变化趋势图注：横坐标是时间，单位刻度是1min,其中参量包括：加热板温度及温度设定，加热板功率及功率设定，加热板电流及电压，晶升上、下实际速度，副室温度，等径长度及重量，晶升速度设定。图表分析硅棒检测数据：头部尾部表面电阻率 5.3 1.1 少子寿命 1868 1780 氧含量 0.89*1018 0.64*1018 碳含量 1.83*E16 4.20*E16 从数据显示碳氧含量、少子寿命（要求大于1000）、电阻率（要求1-6）等都合格。硅片检测数据：硅片电阻率硅片分档数据: 1-3 ??cm共1697片，3-6 ??cm共2374片。均在合格范围内。硅片厚度检测：硅片厚度均在合格范围内200±20um。