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第五章 几种新型薄膜材料及应用 5.1 铁电薄膜材料及其应用 5.1.1 铁电材料的研究发展 铁电体是一类具有自发极化的介电晶体，且其极化方向可以因外电场方向反向而反向。存在自发极化是铁电晶体的根本性质，它来源于晶体的晶胞中存在的不重合的正负电荷所形成的电偶极矩。 具有铁电性，且厚度在数十纳米至时微米的薄膜材料，叫铁电薄膜。 在居里点附近铁电体的介电性质、弹性性质、光学性质和热学性质等，都要出现反常现象，即具有临界特性。在Tc时，介电系数、压电系数、弹性柔顺系数、比热和线性电光系数急剧增大。例如：大多数铁电晶体，在Tc时介电常数可达104～105，这种现象称为铁电体在临界温度附近的“介电反常”。 当温度高于Tc时，介电系数与温度的关系服从居里－外斯定律(Curie-Weiss Law)： 式中，c为居里常数(Curie constant )，T为绝对温度，To为顺电居里温度，或称为居里-外斯温度，它是使?? ?时的温度。对于二级相变铁电体，T0＝Tc，对于一级相变铁电体ToTc（居里点TC略大于T0）。 5.1.2 铁电薄膜及其制备技术的发展 目前，铁电薄膜制备工艺主要有以下四种，表5-1给出这四种主要制膜技术的发展现状。 ⑴溅射法 ⑵MOCVD技术 ⑶Sol-Gel法 ⑷PLD法 5.2 电介质薄膜及应用 5.2.1 概述 通常人们将电阻率大于