2011 超导纳米线单光子探测器.docxVIP

物 理 学 报Acta Phys. Sin.Vol. 60，No. 3 (2011)038501超导纳米线单光子探测器*张蜡宝康琳陈健赵清源郏涛许伟伟曹春海金飚兵吴培亨( 南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所 ，南京 210093) (2010 年 5 月 15 日收到;2010 年 6 月 6 日收到修改稿)利用磁控溅射、电子束光刻和反应离子刻蚀等微加工技术，开展了超导纳米线单光子探测器 ( SNSPD) 的研究.通过对 SNSPD 的设计和制备工艺参数的优化，成 功制备出了高质量的 SNSPD. 单光子检测实验表明，制 备的SNSPD 对 660 nm 波长的光信号，系统检测效率可达 30% ，对 1550 nm 波长光信号，最 大系统检测效率为 4. 2% . 在平均暗计数小于 10 c / s 的情况下，系统检测效率大于 20% (660 nm) 和 3% (1550 nm) .关键词: 单光子，氮化铌，纳米线，探测器PACS: 85. 25. Pb，07. 57. Kp，85. 60. Gz，03. 67. Hk1. 引言超导 纳 米 线 单 光 子 探 测 器 ( Superconducting Nanowire Single Photon Detector，SNSPD) 是一种利用 超导纳米膜条进行光子检测的高灵敏光子探测 器［1］. 与现有商用单光子探测器相比［2—5］，SNSPD具有暗计数低、响应频谱宽、重复速度快等特点，因 此在量子信息［6—11］，单 光子源表征［12，13］，集 成电路 检测［14］，高 速光通讯［15］和分子荧光检测［16］等领域 具有重要的应用价值.1990 年，Kadin 等人［17］提出利用吸收光子后在 二维 超 导 体 上 形 成 的 涡 旋-反 涡 旋 对 ( vortex-antivortex pairs，VAP) 来检测红外光子的思想. 基于 这个 思 想，Gupta 等 人［18］ 提 出 氮 化 铌 ( niobium nitride，NbN ) 薄 膜 条 纹 的 单 光 子 探 测 器 模 型. Semenov 等人［19］提出给 NbN 薄膜条加一个偏置电 流以辅助超导态的临界转变进而实现对单光子的 检测. Goltsman 等人［1］设计了 NbN 超导纳米条的单 光子探测实验. 他们利用宽 200 nm，长 1 μm 的超导NbN 薄膜条，实现了对波长为 810 nm 的单光子信号 的检测. 该研究小组［20］通过改进器件结构，将 纳米 条加工成覆盖 20 μm2 面积的曲折线结构，提 高了SNSPD 探测器的光子耦合效率，实 现了从可见光到 红外光波段的单光子探测.目前的 SNSPD 主要采用 3—6 nm 的高质量NbN 外延薄膜，用微加工手段将薄膜刻蚀成曲折线 结构，NbN 纳米线宽度一般在 100 nm 左右. SNSPD工作在 1. 4—4. 2 K 的温度，偏置在略低于临界电流 的状态. 在没有光子入射时，超 导纳米条处于超导 态，当 光子被 NbN 膜条吸收，吸 收光子处形成一个 短暂的电阻态，器 件两端有一个电压脉冲输出. 通过对这个电压脉冲信号的计数实现对入射光子的 检测.SNSPD 芯片的制备工艺复杂，高 质量超薄 NbN薄膜的制备技术是 SNSPD 的基础. 目前能够独立制 备 SNSPD 芯片的研究组寥寥可数. 莫斯科师范大学 是最早开展 SNSPD 实验研究的小组，技 术最为成 熟. 他们已向多个国家的研究小组提供探测器芯 片. 另外还有日本 NICT，美 国 NIST 和 MIT 等. 南京 大学超导电子学研究所，从 2007 年开始 SNSPD 的实验研究，已经研制出从可见光到中红外波段的单 光子探测器，其 探测效率、时间抖动等主要性能指 标达到了国际主流水平.本文中，我们介绍利用 NbN 超薄超导薄膜设计和制备 SNSPD 的工艺技术，SNSPD 器件的筛选方法SNSPD 的性能评价指标.器件制备与性能评价超薄 NbN 薄膜是制备 SNSPD 的纳米线最常用国家重点基础研究发展计划( 批准号:2011CBA00200，2007CB310404) 和国家自然科学基金( 批准号 资助的课题.通讯联系人. E-mail:kanglin@ nju. edu. cn2011 中国物理学会 Chinese Physical Societyhttp: / / wulixb. iphy. ac. cn038501-1物 理 学 报Acta Phys. Sin.Vol. 60，No. 3 (2011)038501的材料. 除 NbN 外，也 有 一 些 小 组 探 索 Nb［21］，NbTiN［22，23］，MgB2