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激光干涉技术在硬度计量中的应用研究 Application of laser interference technology in hardness measurement 学生姓名 xxx 学号 xxx 学生专业 xxx 班级 xxx 院 系 xxx 指导教师 xxx 2015年12月 激光干涉技术在硬度计量中的应用研究 摘要:激光干涉技术通过将激光束进行偏振干涉,形成两束同频同幅、相位不同的光束,测量光束的相位随着主轴和压头的移动而发生变化,这也为压入深度和硬度的测量提供了可能。本文首先介绍了激光干涉技术进行硬度测量的原理,然后设计了采用偏振干涉仪的激光干涉装置,通过采用15.825nm的测量单位可以精确的获得压头雅图标准硬度块的深度,进而换算出硬度值,经过验证具有较小的不确定度。 硬度计量是力学计量的一个重要组成领域,旨在确定硬度块的硬度值,往往借助洛氏硬度来进行换算。洛氏硬度即为具有一定规则形状的金光是压头或者钢球压头在外界压力的作用下,压入标准硬度块之后留下的压痕深度,由此可以看出硬度测量中存在很多不确定因素,其中压根深度的测量准确性影响压痕深度的准确性。激光干涉技术作为一项现代电子技术,可以在洛氏硬度测量的基准装置中起到降低压痕深度不确定度的作用,甚至可以将误差压缩至纳米级。通常来说,激光干涉装置由稳频激光源、偏振干涉仪、光电转换器和可逆计数器组成,通过一系列的测量和转换,数据在电脑端进行收集和计算,从而得出最终的硬度值。 1 激光干涉技术原理 在激光干涉技术应用于测量硬度值时,其溯源标准是偏振干涉仪发射的激光波长值,稳频激光源将波长稳定的激光发射在偏振干涉仪之内,分光镜将激光分成两股,在经过一系列的传输之后,当这两束激光再次发生重合的时候,就会发生干涉现象,而激光的相位差也决定了干涉带的亮度。通过固定一束激光的相位,另一束则会在反射镜随主轴移动的时候而发生相位变化,如此一来干涉带的亮度就会发生持续性变化。所以通过测量主轴移动的位移,就可以对应地测量出干涉带的亮度变化,也就测量出了激光的波长值。一般来说为了提高精确度,可以将电路系统的干涉带分成二十个区域,经过划分之后的干涉带脉冲单位为λ/40,也即15.825nm,这样在随后的硬度测量和计算中以此为单位就可以确保测量的误差保持在纳米级,从而提高了精确性。 2 激光干涉技术在硬度副基准测量中的应用 设计如图1所示的激光干涉装置,主要结构为偏振干涉仪。办内墙激光器光源L发射线和水平呈45度角的偏振光,经过反射 镜 M1 和 M2 反 射 之 后 ,到 达 偏 振 分 光 镜PBS,偏振分光镜将入射激光分成两股,其中参考激光束沿着水平方向照射到角镉棱镜C1上再次反射回偏振分光镜PBS, 而另一道和参考激光束垂直的光束即为测量光束,其和参考光束具有一样的频幅,测量光束沿垂直水平面的方向射到角隅棱镜C2上之后再次被反射到偏振分光镜PBS。参考光束和测量光束重新汇合之后,两道光束相互叠加并变化成旋转偏振光,经过45度的激光波长之后,成为线偏振光,相位变化延续角隅棱镜C2位移变化,也即是主轴和压头的位移。（如图1）经过叠加之后的光束通过分光镜BS之后,再次分成透射光和反射光,聚焦后在偏振分光束镜PBS1和PBS2的作用下,变成两对信号,之后通过两对光电接收器D1/D1’和D2/D2’进行放大处理,随后两对信号将会产生一个180度的电信号差,经过差分处理之后,可以形成相差90度的正弦信号和余弦信号。通过可逆计数器便可以实现可逆计数,将干涉带分成四个部分,同时也可以提升信号的信噪比,很好的应对零点漂移和直流光电改变的影响。设计的装置将干涉带分成二十个小区域,经过划分之后的 干 涉 带 脉 冲 单 位 为 λ / 4 0 , 也 即 1 5 .825nm,系统以此单位进行计算。信号输入电脑,经过运算可以得到主轴和压头的位移,随即便可以得到压头压入标准硬度块的深度以及硬度值。在这一系列的测量过程中, 计数器会在外界荷载力饱和时间满时而清零,当主试验力开始增加时,计数器开始接收到激光信号,并开始计数。随着主试验力的不管压载,计数器会记录下一系列的N1个量程位移,由于弹塑性变形的影响,主试验力卸除的时候,压头会出现回弹,这是可逆计数器记录下回弹的量程位移N2,那么我们需要的主轴和压头位移极为N1-N2, 同时便压头压入标准时样块深度。由前文可知,系统的每一个量程为λ/40,也即15.825纳米,也就是说当压头压入了15.825个纳米的距离的时候,系统就会记录下一个量程,通过公式:( ) 002.0/