第九章长度计量(新)资料.ppt

计量几何量复合参量的仪器常用标准样板来校准。 标准样板的量值往往由标准装置确定。 标准装置通常是将复合参量分解为几个方向的长度或几个平面内的角度量后分别计量，然后求出这些量间的关系来确定复合参量。 9.4 工程参量计量 1、直线度计量标准 1）实物形式：平尺，工业上常用刀口直尺，检定刀口尺用平尺。 平尺的材料：钢、铸铁、花岗岩等，长度小于300mm的也用玻璃制造，称为长平晶。 2）自然形式：光 准直望远镜：计量几十m的距离，读数分辨率可达1μm 激光准直仪：也用于计量几十m内的直线度，分辨率可达0.2 μm * 准直望远镜 刀口尺 激光准直仪 2、平面度计量 用熔融石英制造的标准平晶稳定性好，可作为高精度的平面度标准。 平晶：长平晶、圆平晶（Φ45、 Φ60、 Φ80、 Φ100、 Φ150、 Φ300mm等）。 精度分二级，一级平晶平面度偏差不大于0.05μm，二级平晶不大于0.1 μm。 JJG 2019-1989 平面度计量器具检定系统 3、圆度和球面度计量 光学加工常用标准球面作为样板，半径小的以整球作为样板，半径大的只取一部分球作样板。 标准球：校验圆度及坐标测量机校准测头等。 对半径较大的球面样板，常用光学干涉法计量其球面轮廓度。 4、粗糙度计量 目视、放大镜或显微镜与样板比较 光切显微镜、干涉显微镜或电子显微镜 触针法 仪器用标准样板来检定或校准，多刻线（三角形、正