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原子力显微镜  Atomic Force Microscope (AFM) Introduction 原子力显微镜示意图 AFM ? 基本原理 AFM ? 基本原理 测量原子间相互作用力 AFM ? 基本原理 For practical AFM probe tip and the sample surface, attractive force between them could be much larger than what is described here for a tow-atoms system. This is because, at least, the size of the tip is much larger than an atom. Typical radius of a commercial tip is ~ 20 nm. Also, much longer-range forces could occur in practice. Feature of AFM 1.Can work at air atmosphere 2.Can observe the insulation samples 3.High resolution on vertical direction AFM ? 基本原理 Features of AFM: Creates topographical images with a height resolution of ~0.1 nm and lateral resolution down to ~5nm. Friction force images can distinguish different materials, phases, and chemical properties. You can measure adhesion forces (surface energy) of surfaces. AFM ??基本原理 AFM ??基本原理 A very soft cantilever with a spring constant of ~ 0.1 N/m is usually used in contact AFM. After a mechanical contact between the tip and the sample surface, there is a repulsive force between them. AFM ??基本原理 ITO薄膜 PTCDA薄膜 金属表面结构 观察到二种含碳浓度不同的钢材S55C（碳浓度0.55％）、S25C（碳浓度0.25％）中的碳化物的分布状态不同。前处理为，研磨抛光后，在1.5％ナイタール溶液中浸泡几秒钟，形成细微的阶梯。碳浓度高的S55C中，纯铁相（γFe），多数掺碳体相（Fe3C）成为突出的層状珠铁结构。 陶瓷破碎面 沸石 Observation for biological samples 脐静脈内皮細胞（HUVEC） 质体DNA Observation in Liquor 牙齿的蜂窝状结构 电化学SPM 銅板 可控气氛SPM 特定气体气氛 气氛温度、湿度控制 样品加热、冷却 气体吹扫样品 光线照射样品等等 　　　　　　　　　　　　　 可控气氛SPM 碘化钾单晶(001) 橡胶 形貌以外的信息 LFM ：横向力显微镜 Current Imaging ：电流測定 Phase Imaging ：位相检测 Force Modulation ：粘弹性測定 MFM ：磁力显微镜 EFM ：电位显微镜 Nano Indentation ：超微硬度測定 Force Curve ：力曲线 ?????? 电流測定 接触模式观察，同時測定样品与探針之間流过的电流。 Si上的SiO2图 磁力显微鏡（MFM） 将磁化悬臂离开样品表面扫描、根据漏磁場检测磁力，将样品的磁性信息图像化。 硬盘 电位显微鏡（EFM） 动态模式观察，同時測定样品表面的電位。 金属氧化膜 位相检测（力成图） 滞后于谐振频率附近振动悬臂的位相的图像化。 再生紙 苯乙烯/丁二烯嵌块共聚物 聚苯乙烯的层状结构 力调制（粘弹性測定） 扫描过程中悬臂反复接触样品，根据反映，将振幅或位相分别图像化。 力调制（粘弹性測定） 超微硬度測定（纳米压痕硬度计） 超微硬度計（纳米压痕硬度计） 微观刻痕实验 Triboscope的观察顺序 Load-Displacemenat Curve 应用（2） 力曲线測定 　　力曲线成图 　　纳米碳管探针 AFM ??基本原理 AFM ??应用 AFM