第七章 电子显微分析.pptVIP

深圳大学光电子学研究所 电子显微分析简介 I. 电子光学基础 一、光学显微镜的分辨率极限 分辨本领是指成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离。光学显微镜的分辨本领为： 式中 ?——照明光源的波长： 上式表明，光学显微镜的分辨本领取决于照明光源的波长。在可见光波长范围，光学显微镜分辨本领的极限为2000?。因此，要提高显微镜的分辨本领，关键是要有波长短，又能聚焦成像的照明光源。 1924年德布罗意发现电子波的波长比可见光短十万倍。又过了两年，布施指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦。在此基础上，1933年鲁斯卡等设计并制造了世界上第一台透射电子显微镜。 二、电子波的波长 电子显微镜的照明光源是电子波，电子波的波长取决于电子运动的速度和质量，即 v--电子的速度，它和加速电压U之间存在下面的关系 可以推算出： 可见光的波长在3900—7600?之间，从计算出的电子波波长来看，在常用的100-200kv加速电压下，电子波的波长要比可见光小5个数量级。 三. 电磁透镜 透射电子显微镜中用磁场来使电子被聚焦成像的装置是电磁透镜。 电磁透镜的分辨本领由衍射效应和球面像差来决定。 (一)衍射效应对分辨本领的影响 由衍射效应所限定的分辨本领在理论上可由以下公式计算，即 N--介质的相对折射系数 ?--透镜的孔径半角 (二)像差对分辨率的影响 因为电磁透镜总是会聚透镜，至今还没有找到一种矫正球差行之有效的方法。所以球差使成为限制电磁透镜分辨本领的主要因素。若同时考虑衍射和球差对分辨本领的影响时，则会发现改善其中一个因素时会使另一个因素变坏。 为了使球差变小，可通过减小?来实现，但从衍射效应来看?减小将使?ro变大，分辨本领下降。这两者相互矛盾。 关键是确定电磁透镜的最佳孔径半角?，使得衍射效应斑和球差散焦斑尺寸大小相等，表明两者对透镜分辨本领影响效果一样。 （三）电磁透镜的景深和焦长 3.1.景深 电磁透镜的另一特点是景深(或场深)大，焦长很长，这是由于小孔径角成像的结果。任何样品都有一定的厚度。从原理上讲，当透镜焦距、像距一定时，只有一层样品平面与透镜的理想物平面相重合．能在透镜像平面获得该层平面的理想图像。而偏离理想物平面的物点都存在一定程度的失焦，它们在透镜像平面上将产生一个具有一定尺寸的失焦圆斑。如果失焦圆斑尺寸不超过由衍射效应和像差引起的散焦斑，那么对透镜像分辨本领并不产生什么影响。 我们把透镜物平面允许的轴向偏差定义为透镜的景深，用Df来表示。它与电磁透镜分辨本领?ro 、孔径半角?之间关系: 这表明，电磁透镜孔径半角越小，景深越大。一般的电磁透镜。 ?＝10-2-- 10-3 rad，Df＝(200—2000)?ro。如果透镜分辨本领?ro=10?，则Df＝2000-20000?, 对于加速电压100Kv的电子显微镜来说，样品厚度一般控制在2000?左右，在透镜景深范围之内，因此样品各部位的细节都能得到清晰的像 3.2.焦长 当透镜焦距和物距一定时，像平面在一定的轴向距离内移动，也会引起失焦。如果失焦引起的失焦斑尺寸不超过透镜因衍射和像差引起的散焦斑大小，那么像平面在一定的轴向距离内移动，对透镜像的分辨率没有影响。我们把透镜像平面允许的轴向偏差定义为透镜的焦长，用DL表示。 M—透镜放大倍数 II.透射电子显微镜 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。它由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组成。电子光学系统通常称镜筒，是透射电子显微镜的核心，它的光路原理与透射光学显微镜十分相似，它分为三部分，即照明系统、成像系统和观察记录系统。 2.1 . 照明系统 照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。其作用是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。为满足明场和暗场成像需要，照明束可在2—3o范围内倾斜。 电子枪是透射电子显微镜的电子源。常用的是热阴极三极电子枪，它由发夹形钨丝阴极、栅极帽和阳极组成. 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束, 以最小的损失照明样品．调节照明强度、孔径角和束斑大小, 一般都采用双聚光镜系统. 2.2.成像系统 主要是由物镜、中间镜和投景镜组成。 物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决于物镜。因为物镜的任何缺陷都将被成像系统中其它透镜进一步放大。欲获得物镜的高分辨本领，必须尽可能降低像差。通常采用强激磁、