纯水系统作业指导书1讲述.docVIP

厦门集顺半导体制造有限公司 40T/H超纯水系统 作 业 指 导 书 厂务部制 2015年5月25日 目 录 目录……………………………………………………………… 2 一、多介质过滤器……………………………………………… 7 手动操作说明……………………………………………………… 7 多介质单机图…………………………………………………… 13 二、活性炭过滤器……………………………………………… 14 手动操作说明……………………………………………………… 14 活性炭单机图…………………………………………………… 17 三、阳塔………………………………………………………… 18 手动操作说明……………………………………………………… 18 阳塔单机图……………………………………………………… 25 四、阴塔………………………………………………………… 26 手动操作说明……………………………………………………… 26 阴塔单机图……………………………………………………… 32 五、RO机组……………………………………………………… 33 手动操作说明……………………………………………………… 33 RO单机图……………………………………………………… 37 六、混床………………………………………………………… 38