扫描电子显微镜2011研究生电镜实验培训课件.pptVIP

扫描电子显微镜的结构和工作原理 ESEM特殊结构与性能 含水样品保湿 消除电荷堆积 （1）放大倍数 定义： 荧光屏上的扫描振幅 电子束在样品上的扫描振幅 放大倍数与扫描面积的关系(若荧光屏画面面积为10×10cm2): 放大倍数 扫描面积 10× (1cm)2 100× (1mm)2 1,000× (100μm)2 10,000× (10μm)2 100,000× (1μm)2 SEM的主要性能指标 扫描电镜放大倍数从几十放大到几十万倍，连续可调。放大倍率不是越大越好，要根据有效放大倍率和分析样品的需要进行选择。如果放大倍率为M，人眼分辨率为0.2mm，仪器分辨率为5nm，则有效放大率M＝0.2×106nm?5nm=40,000（倍）。如果选择高于40,000倍的放大倍率，不会增加图像细节，只是虚放，一般无实际意义。放大倍率是由分辨率制约，不能盲目看仪器放大倍率指标。 SEM的主要性能指标 中国科学技术大学力学与机械工程系 材料现代测试技术 龚 明 扫描电镜成像原理 一.成像原理：