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x射线光电子能谱数据处理 主要内容 仪器型号及主要参数 元素组成鉴别 元素定量分析 元素化学态分析 主要内容 仪器型号及主要参数 仪器型号及主要参数 X射线光电子能谱仪型号：AXIS ULTRA DLD （岛津集团Kratos公司生产） X射线源：单色化Al靶，Al Kα hv=1486.6eV 样品分析区域：700×300μm X射线工作功率：一般为150w。 数据命名：“谱图-姓首字母+样品号”（如Dataset wide-z1:7(2014-03-11)中“wide-z1”就是数据名称） 主要内容 元素组成鉴定 元素组成鉴定 操作步骤： 1.使用Excel打开原始数据。将表格数据向下拉，依次为宽谱（wide）及各个元素的窄扫描数据（如O1s,C 1s等） 2.选取宽谱（wide）的（或是要分析元素的）数据区域 3.将数据拷入Origin软件，以Binding Energy（BE）作为横坐标，Intensity（I）作为纵坐标作图，得到曲线。 4.不同元素对应唯一的结合能数值（BE），可与X射线光电子能谱标准谱图进行对比（NIST网址：/xps/seLEnergyType.aspx） 5.首先鉴别总是存在的元素谱线，如C、O的谱线 6.鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线 7.鉴别剩余的弱谱线假设它们是未知元素的最强谱线 元素组成鉴定 Typical XPS Survey Spectrum 主要内容 元素定量分析 元素定量分析 采用元素灵敏度因子法： 1、查找对应元素相应轨道的灵敏度因子，计算峰面积/灵敏度因子比值； 2、按下面所列公式将各个元素特征谱的峰面积/灵敏度因子比值进行归一化求和，即可得到各个元素在样品表面的相对含量。 对于同一样品中的两个元素i和j，其原子浓度比为 元素定量分析 操作步骤： 1.打开原始数据后，以binding Energy(BE)作为横坐标，以Intensity 列/Transmission Value 列得到的有效强度I’作为纵坐标，在xpspeak 软件中取基线求得峰面积或是Origin软件中对元素对应的峰进行积分求得I’。 2.元素灵敏度因子S可查表（见附录RSF）得到。 3.运用公式计算可得元素原子相对浓度极其比值。 说明：另一种求算峰面积方法是：用原始数据的binding Energy(BE)作为横坐标， Intensity 列作为纵坐标，在xpspeak 软件中取基线求得峰面积或是Origin软件中对元素对应的峰进行积分求得。这两种方法的求得元素的相对原子浓度比相差不多。 主要内容 元素化学态分析 元素化学态分析 操作步骤： 1.对于半导体、绝缘体，测量化学位移前应首先进行荷电校正（所发数据已经校正）。 2.一般情况下，光电子谱峰间的距离保持不变，峰间距可由标准谱图查得。 3.对于p、d、f 等能级的次能级（如p3/2、p1/2)强度比是一定的，p3/2：p1/2=2:1； d5/2：d3/2=3:2； f7/2：f5/2=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f中的同一价态的W f7/2和Wf5/2的峰面积比应为4:3。 4.被测原子的氧化态越大，或与电负性大的原子结合时，内层电子结合能越大。 5.根据样品实际情况，进行分峰拟合分析。 元素化学态分析 I 荷电校正： 对于半导体，绝缘体，需以C单质的标准峰位284.8校正。 说明：所给数据都已经校正，所以数据不需进行此步骤处理。 元素化学态分析 II.分峰拟合（软件—xps Peak4.1） 1、将所拷贝数据转换成TXT格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。 2、将.txt数据导入（Import ASCII)XPS Peak4.1. 元素化学态分析 3、选择本底：点Background，因软件问题， High  BE和Low BE的位置最好不改，否则无法再回到 Origin，此时本底将连接这两点，Type可据实际 情况选择，一般选择Shirley 类型。 元素化学态分析 4、加峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（一般选s），在Position