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减小光栅传感器测量信号误差的研究 　　摘 要：光栅传感器是一种新型光子器件，将其应用于军事、航空等领域的检测工作中，可获得比传统机电机械类传感器更稳定、更可靠以及更准确的测量信号。但是，由于系统自身误差及噪音的影响，使得当前光栅传感器测量精度依旧有上升的空间。当前，光栅传感器作为一种新型传感器，凭借着高灵敏度、高分辨率等等优势，得到了十分广泛的应用。但是，在光栅传感器应用过程中，也存在一定的测量信号系统误差和随机误差，本研究即针对如何减小光栅传感器测量信号误差这一问题，展开了具体的探讨。 　　关键词：光栅传感器 测量信号 误差 工作原理 　　中图分类号：TH822 文献标识码：A 文章编号：1674-098X（2015）07（b）-0013-02 　　1 光栅传感器测量工作原理及其信号误差概述 　　1.1 光栅传感器测量工作原理 　　在光学领域中，反射镜与光学衍射光栅均是常用的设备。其中，光学衍射光栅即为在一个不透明的平面上刻出N条平行且具有一定间距的狭缝，通过其实现入射平面波振幅的有效调制。对于光栅传感器而言，其主要是利用相位的调制获得衍射光栅，具体来说就是在光传播经由的路径中摆设一块透明的物体，此时透射波相位是由光在该透明物体中的光程所决定，基于此可通过改变透明物体厚度，实现光程的变化，达到调制透射波相位的目的[1]。 　　如式（1）所示，即为纤芯折射率调制周期： 　　（1） 　　式中：―固定紫外光源波长； 　　―两相干光束所构成的夹角。 　　光栅在进行宽带光波的调制时，受到的限制较大，仅仅能够在较小的频率范围进行调整。图1即为光栅传感器原理示意图，宽带光波射入光栅传感器后，其仅能在一定的窄频范围内进行相应的反射或是透射，已达到筛选的目的。如式（2）所示，即为反射中心波长的计算公式： 　　（2） 　　式中：―反射光中心波长； 　　―有效折射率； 　　―光栅周期。 　　对此，可通过不同的波长，获得测量对象的相关参数。 　　1.2 光栅传感器测量信号误差类型 　　在光栅传感器的实际应用中，其测量信号的误差主要可以分为两种：一是系统误差，主要有细分误差、周期累计误差；二是随机误差。对于光栅传感器测量系统而言，一旦出现信号误差，即会影响到测量结果的准确性，因此必须重视光栅传感器测量信号误差的查找和修正。一方面，针对光栅传感器测量信号系统误差，可采取相应的误差修正技术；另一方面，针对光栅传感器测量信号随机误差，可通过多项式预测滤波器的应用实现误差的有效减小。 　　2 减小光栅传感器测量信号系统误差的措施 　　2.1 误差检测 　　在光栅测量系统的应用中，利用精密导轨将激光干涉仪与其相连接，注意必须确保其测量轴线处于同一直线，从而达到阿贝原则的要求。在进行光栅测量的过程中，应通过同步动态检测，实现光栅测量系统与激光干涉仪测量数据的同时刻采样，并将其传送至计算机处进行相应的分析处理[2]。 　　2.2 误差分离 　　在光栅传感器实际测量工作中，可采取傅里叶变换或是离散频谱分析的方法，将检测出来的系统误差中的细分误差与周期累计误差进行分离处理。其中，细分误差即为总检测结果中基频和莫尔条纹空间频率基本相同的部分；周期累计误差，则可利用低通滤波方法，将剩余部分中的随机误差滤去后得到。 　　2.3 误差补偿 　　为了实现光栅传感器测量信号系统误差的有效减小，必须采取相应的误差补偿措施，其主要包括以下三种：（1）归一补偿。该种补偿措施应用过程中，补偿数值与当前所处的测量位置不存在直接的联席，因此十分适合在无绝对零位的光栅测量系统中使用。但是若测量系统的误差较大，则会因为补偿精度不够，产生补偿不彻底的问题。（2）分段补偿。在实际应用中，只要分段数达到一定的规模，则可获得较为精确的补偿值。但是，由于该种补偿措施会产生大量的表格数据，因此对于存储空间的要求较高，也极易导致整体测量速度减慢。（3）混合补偿。该种补偿方法可以说是兼顾测量速度与精度，应用范围较为广泛。 　　2.3.1 归一补偿方法 　　该种补偿方式即为在全量程的所有位置，通过相同的补偿参数进行误差的修正。一方面，针对周期累计误差，利用同一条直线进行线性补偿；另一方面，针对细分误差，则利用的是同一条细分误差补偿曲线。如式（3）即为归一补偿之后的位移计算： 　　式中：―斜率补偿系数； 　　―周期累计误差固定偏移量； 　　―细分误差曲线。 　　在式（3）中，因为是个固定的值，假设给定一个值为0，并不会影响到最终的结果，故可得到式（4）： 　　2.3.2 分段补偿方法 　　该种补偿方式即为把全量程换分为N段，各段之间的补偿参数并不相同，而是由各自的误差特性做决定，如式（5）所示即为分段补偿之后的位移计算： 　　式中：―第k段