扩散炉温度控制系统设计与实现.docVIP

致 谢 两年半的研究生生活就要结束了，这两年来，***老师和***老师传授了不少专业知识，给予了我极大的关怀和帮助。他们给我提供在外实习的机会，帮我开拓眼界，提高我的动手能力，在论文选题、撰写过程中又经常在繁忙中抽出时间给我提出指导意见，并悉心提供帮助，直到我的硕士论文顺利完成，借此机会，我要在此特别感谢。 与此同时，我还要感谢实验室的兄弟姐们对我在这两年多的时间里的支持与帮助，在论文完成过程中他们也给我提供了不少信息和思路，在出现困难时他们总是伸出援助之手。还要感谢实习单位。我还要要由衷的感谢父母，一对普通夫妇支持我完成十余年的学业，其中付出的艰辛可想而知。感谢爸爸如山的父爱，感谢妈妈细腻的母爱，感谢家人这么多年对我付出的辛苦与劳累。日后，我家努力工作、学习，。 摘 要 随着欧盟和美国对华贸易保护主义的不断升温，并于近期宣布对中国光伏产品征反倾销、反补贴税，我们不尽自省。扩散炉是太阳能电池生产工艺中的重要设备，面对扩散设备核心技术靠国外、太阳能产品主要市场靠国外的现状，我们除了培育国内市场外，还应加强对扩散炉核心技术的自主研发能力，尽快摆脱对国外技术的依赖。 本文详细的分析了扩散炉工艺原理以及温度特性，在深入研究传统控制的基础上，对其进行改进，将模糊控制理论引入到控制中,以提高系统的自动化程度。设计了以模糊控制为基础的串级控制系统，并在matlab环境中对该算法进行仿真。本系统采用PLC可编程控制器作为系统的下位机,对炉温进行实时控制与信息采集，并与上位机进行数据交换，控温算法根据炉温的实际情况计算出合理的控制参数，再将控制信息发送给执行机构，执行机构通过调节可控硅的导通角来调节加热功率，实现对炉温的良好控制。最后，在扩散炉实验管中对该系统进行工艺实验以验证该系统的控制性能。 关键词：扩散炉、温度控制系统、改进的控制、。 Abstract With the increasing trade protectionism to China , European Union and the United States in recently announced that they would levy antidumping duty and countervailing duty on Chinese Photovoltaic products, that helps us do some self-reflection. Diffusion furnace is an important equipment for the production process of solar cells.Face the fact that core technology for diffusion equipment rely on foreign industry and solar products mainly rely on the foreign market, we shuld evolve the domestic market,at the same time, we should also strengthen the self-exploitation ability of the core technology for diffusion furnace , to to get rid of the dependence on foreign technology as soon as possible. This article makes a detailed analysis on the diffusion furnace process principle and temperature characteristic, improved the traditional PID control on the basis of the thorough research on it. And the fuzzy PID control method is tried to introduce into the PID control system to improve the level of automation. This article designed a cascade control systems based on fuzzy PID, and simulated in the matlab environment. This system uses PLC programmable controller as the