蔡司场发射扫描电镜操作培训解析.ppt

谢谢！！ * * * 操作软件简介 操作软件简介 数据区：显示电镜当前的一些参数 控制真空，灯丝开关，EHT的开关。当Gun或者EHT出现绿勾时，代表正在工作。Vac出现绿勾时，代表真空已经达到工作要求 操作软件简介 显示鼠标左键和中键当前的功能 操作软件简介 基本介绍 操作软件简介 导出保存设定 保存设定 预览或更改保存设定 导入注解 保存设定管理 保存注解 操作软件简介 点击Display LUT 可以对图片的明亮对比度，三元色进行修改 跳出对话框 操作软件简介 双击或者Ctrl+A 跳出注解对话框 操作软件简介 选择注解对象 选择鼠标控制 撤销上次更改 导入注解 保存注解 删除所有注解 导出区域选择 加入文字注解 导出参数 插入用户bmp格式图片 圆型注解区 长方形注解区 注解区直线 粘帖面板 放大区域 微标尺 固定长度标尺 点对点距离测量 角度测量 正四边形测量 圆测量 左右宽测量 上下宽测量 可移动左右宽测量 可移动上下宽测量 操作软件简介 激活对话框后调出状态栏 激活对话框后调出用户工具栏 操作软件简介 数据区控制 激活后，屏幕上显示米字准线 操作软件简介 常见问题：当使用AsB探头时，如果看不见影像。请先检查一下左图的设置是否在“high”,然后检查工作距离，EHT是否过低。光阑尺寸是否过小。 操作软件简介 样品台进行初始化。 常见问题：当水冷机出现不正常工作后，重新启动水冷机并使之正常工作。有时会发生样品台不能动，重新启动电镜，EM Server 提示样品台没有初始化。这时需要初始化样品台 操作软件简介 连续中心点：激活此功能后，屏幕上出现一个十字座标。拖动十字座标到感兴趣点，点击鼠标左键。感兴趣点将自动移到屏幕中心。 操作软件简介 样品台导航器：显示样品座的位置和一些参数。请注意：这只代表样品座的位置。不是样品的位置。 操作电镜的基本流程 将样品放入样品室，抽真空（抽真空时手推紧一下仓门）。真空度达到5.00e-005mbar以下时，可打开设定的高压，取像。 移动样品台，使样品在物镜正下方，调节样品和物镜之间的工作距离。选择需要的光阑和探头。放大倍率到最小。使用鼠标聚焦，调节光阑对中和像散。提高放大倍数，再聚焦，调节光阑对中和像散。如此类推，至需要的放大倍数。 用去除噪音的模式，取得高质量的图片保存到指定的硬盘目录中。 关闭高压，泄真空，取出样品。 操作电镜的基本流程 样品台控制器： 当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。 当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。 当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左右移动。 当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。 操作电镜的基本流程 图片保存：当图片冻结后，鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后， 选择Send to，然后选择需要保存图片的格式 操作电镜的基本流程 选中需要保存的图片格式后，跳出左边的对话框 选择你要保存的目录 输入要保存图片的名字 保存图片 操作电镜的基本流程 调出图片(请注意只有TIFF格式的图片才能SmartSem软件中调出）：鼠标移动到屏幕中央。点击鼠标右键，点击Import Tiff 操作电镜的基本流程 点击Import TIFF后，跳出以下对话框 选择要调入图片的文件夹 选择要调入的图片 实验举例 观察银纳米结构材料的表面形貌 SEM的各项功能演示 银纳米结构材料制样 Ag微球水溶液 将Ag微球水溶液超声处理2分钟 银纳米结构材料制样 用移液枪取10 ul分散均匀的Ag微球涂在清洁的硅片表面 放在红外灯下烘干 银纳米结构材料制样 用导电胶把样品固定在样品台上 放入SEM腔室观测 不同放大倍数下Ag微球表面形貌 5KV, 10k×,Inlens探测器 5KV, 25k×,Inlens探测器 不同放大倍数下Ag微球表面形貌 5KV, 40k×,Inlens探测器 5KV, 100k×,Inlens探测器 不同放大倍数下Ag微球表面形貌 5KV, 150k×,Inlens探测器 5KV, 200k×,Inlens探测器 用不同探测器观测样品的表面形貌 二次电子Inlens探测器 二次电子SE2探测器 用不同探测器观测样品的表面形貌 背散射ESB探测器 背散射CZBSD探测器 样品能谱分析: 点扫描 Element Weight% Atomic% Ag L 100.00 100.00 Totals 100.00 样品能谱分析： 线扫描 样品能谱分析：面分布图 蔡司场发射扫描电镜 操作培训 微纳科学技术研究院 Zeiss Ultra 55场发射扫描电镜（SEM） SEM的特点 表（界）面形貌分析； 分辨率高，可达纳米级； 放大倍数连续调节范围大：十几倍－几十万倍，连续可调，使用非常