制绒原理及相应问题的对策[精选].pptVIP

单晶制绒原理及相应对策 中科院电工所 王文静 绒面作用： 1、减少表面反射 2、提高内部光吸收 绒面产生原理 腐蚀速率快慢由下列三个反应速度来决定。 1、腐蚀液流至被腐蚀物表面的移动速率； 2、腐蚀液与被腐蚀物表面产生化学反应的反应速率； 3、生成物从被腐蚀物表面离开的速率。 1、水分子的屏蔽效应（screening effect）阻挡了硅原子与OH根离子的作用，而水分子的屏蔽效应又以原子排列密度越高越明显。 2、在{111}晶面族上，每个硅原子具有三个共价健与晶面内部的原子健结及一个裸露于晶格外面的悬挂健，{100}晶面族每一个硅原子具有两个共价健及两个悬挂健，当刻蚀反应进行时，刻蚀液中的OH－会跟悬挂健健结而形成刻蚀，所以晶格上的单位面积悬挂健越多，会造成表面的化学反应自然增快。 腐蚀速度的差别造成金字塔的形状 影响因素分析 各个因素作用 对反应速度的影响 图5 不同IPA浓度下温度和NaOH溶液浓度对反应速度的影响 温度越高腐蚀速度越快 腐蚀液浓度越高腐蚀速度越快 IPA浓度越高腐蚀速率越慢 Na2SiO3浓度越高腐蚀速率越慢 对反射率的影响 绒面的平均反射率随NaOH浓度的变化 反射率和金字塔尺寸和均匀性没有密切关系，取决于金字塔有没有布满 关键因素的分析 ——NaOH的影响 关键因素的分析 ——温度的影响 关键因素的分析