第11章 晶体薄膜衍衬成像分析（参考）.ppt

* §11-7 晶体缺陷分析（3） （1）平行于薄膜表面层错 ： 薄膜厚度为 t ，层错CD平行于表面，则 对无层错区，衍射波振幅为： (a)平行薄膜表面的层错 对层错区，衍射波振幅则为 ： 显然，Φgˊ≠Φg，衍衬图像亮度不同，构成了衬度。 层错区：显示为均匀的亮区或暗区。 * §11-7 晶体缺陷分析（4） （2）倾斜于薄膜表面层错：层错区的衍射波振幅仍为： (b)倾斜薄膜表面层错 但该区不同位置晶体柱上、下部分的厚度 t1和 t2＝ t - t1是逐点变化的。 若 t1＝n／s，则 Aˊ(t)＝A(t)， 亮度与无层错区相同； 若 t1＝(n＋1/2)／s，则 Aˊ (t) 最大或最小， Aˊ(t) ≠ A(t) 。 * §11-7 晶体缺陷分析（5） 倾斜于薄膜表面的堆积层错：与倾斜界面等相似 显示为：平行于层错，与上、下表面交线的亮、暗相间的条纹，其深度周期为 t g =1／s。 不锈钢中的层错形态 * §11-7 晶体缺陷分析（6） 晶体中孪晶形态：不同于层错。 由黑白衬度相间、宽度不等的平行条带构成，相间的相同衬度条带为同一位向，而另一衬度条带为相对称的位向。 单斜ZrO2中的孪晶形貌 层错：等间距的条纹。 不锈钢中的层错形态 * * 四、位错的衬度 * 位错的衬度 非完整晶体衍射衬运动学基本方程：可清楚地说明螺位错线的成像原因。 如图为一条和薄晶体表面平行的螺型位错线，螺型位错线附近有应变场，使晶体PQ畸变成P′Q′。 由螺型位错线周围原子的位移特性，可确定缺陷矢量R的方向和布氏矢量b方向一致。 * 位错的衬度 图中： x－－晶柱和位错线间的水平距离。 y－－位错线至膜上表面的距离。 z－－晶柱内不同深度的坐标，薄晶厚度为t。 因晶柱在螺位错应力场中，其内各点应变量都不相同，因此，各点上R 矢量也均不相同，即 R 是坐标 z 的函数。 * 位错的衬度 为便于描绘晶体畸变特点，把度量R的长度坐标转换成角坐标β，其关系如下 从式中可看出晶柱位置确定后（x和y一定），R是z的函数。因为晶体中引入缺陷矢量后，其附加位相角α=2πghkl·R，故 * 位错的衬度 ghkl·b可等于零，也可是正、负的整数。 若ghkl·b=0，则附加位相角α＝0，此时即使有螺位错线存在也不显示衬度。 若ghkl·b≠0，则螺位错线附近的衬度和完整晶体部分的衬度不同。 * 位错的衬度 位错线不可见性判据： 当ghkl·b=0时，称为位错线不可见性判据，利用它可确定位错线的布氏矢量。 因ghkl·b=0时，表示ghkl和b相垂直，若选择两个g矢量作操作衍射时，位错线均不可见，则就可列出两方程，即可以确位错的Burgers矢量：B B // g1×g2 * 刃型位错衬度的产生及其特征 位错引起附近晶面的局部转动，意味着在此应变场范围内，（hkl）晶面存在着额外的附加偏差。 位错线像：将出现在其实际位置的另一侧。 位错线像：总是有一定的宽度，对应“应变场衬度”. * 位错衬度 Al-Mg合金中的位错胞结构 30CrMnSiA高强度结构钢中 的沉淀相Cr23C6与位错(BF) * 位错衬度 18Cr-8Ni不锈钢1100，1.5h淬火 两组平行滑移面上的位错列（BF） * 五、第二相粒子衬度 第二相粒子：指和基体处于共格或半共格状态的粒子。 第二相粒子的存在：使基体晶格发生畸变，由此引入缺陷矢量R，使畸变区和不畸变区晶体间出现衬度差别，因此，也被称为应变场衬度。 * 第二相粒子衬度 球形共格粒子：粒子周围基体晶格结点原子产生位移，使原来理想晶柱弯曲成弓形。因此， 畸变区与不畸变区（远离粒子的基体）晶柱底部衍射波振幅必存在差别。 * 第二相粒子衬度 因通过粒子中心晶柱不发生畸变，缺陷矢量（R=0，α=0）， 则穿过粒子中心晶面的基体部分不出现缺陷衬度。 球形共格沉淀相明场像：粒子分裂成两瓣，中间为无衬度线状亮区。 * 第二相粒子衬度 操作矢量g正好和这条衬度线重直，这是因为衍射晶面正好通过粒子的中心，晶面的法线为g方向，电子束是沿着和中心无畸变晶面接近平行的方向入射的，根据这个道理，若选用不同的操作矢量，无衬度线的方位将随操作矢量而变。操作矢量g与无衬度线成90°角。 * 薄膜衍衬分析，第二相粒子不一定都会引起基体晶格畸变。 第二相粒子和基体间衬度差别主要有： 1、晶体结构及位向差别，造成衬度。 用第二相的衍射斑点作暗场像，可使第二相粒子变亮。这是最常用的验证与鉴别第二相结构和组织形态的方法。 2、散射因子不同，造成衬度。 若第二相散射因子大，则电子束穿过时被散射几率增大，则在明场像中第二相变暗。此衬度与质厚衬度相似。 3、散射因子不同，结构因数也不相同，造成衬度。