集成电路制造技术--绪论全解.ppt

二、集成电路技术发展历史 1999年的 0.18微米工艺、2001年的0.13微米、2003年的90纳米（0.09微米），2005年的65纳米（0.065微米） 1960′s的25mm(1 英寸）， 1970′s的51mm(2英寸），1980′s的100mm(4英寸）， 1990′s的200mm(8英寸），2000的 300mm(12英寸），现在400mm(16英寸) 三、集成电路技术发展的规律与趋势 1964年Intel合作创始人Gorden Moore首次提出； 价格保持不变的情况下晶体管数每12月翻一番， 1980s后下降为每18月翻一番； 最小特征尺寸每3年减小70%； 价格每2年下降50%； Amazingly still correct, likely to keep until 2010 “成本最小化”是“摩尔定律”背后的根本推动力。 戈登-摩尔 摩尔定律（Moore’s Law） 戈登?摩尔--摩尔定律之父 1929年出生在美国旧金山 获加州理工大学物理和化学两个博士学位 1950年代，与Robert Noyce一起，在William Shockley的“肖克利半导体实验室”工作 后诺伊斯与摩尔等“八个叛逆者”集体辞职，创办了著名的Fairchild Semiconductor（仙童公司） 1968年，诺伊斯与摩尔创办了Intel 1969年，“八个叛逆者”之一的杰