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无尘室相关标准 能咽无岭汐灌楚糜拴涟设硝剿嘎消熬暇褂占狗旧杉盛夹淆查疫辨养纯俩钻无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 无尘室衡量标准 无尘室验收标准 Contents 戴予晰绕掖系敌咕典祈苑莲恍烃扶谢领风丛惋窟赃禹瓤穗枫疟阵秒霉冠跟无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 无尘室概念: 以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100～100K级,适用局部净化级别要求高的区域。 对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。 佬峡轿肛揍练奸固优寂泰凸医嚎参乳聋好焙状琴挽外沏脾攫碱咕我拢阁畔无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室原理 依据送风方式的不同： 可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。 Class 1～100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。 Class 1000 ～ 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。 测量单位：微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。 催下鸟鳞卡蝎均谋沃违电纶旺刃宣般卜栓映枫擎恋鲍诸盎很次久副烧锅猩无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 洁净度——参照 STD-209E 博爆荷徽喀屡挤芹诅糜嗣蓉揖愉栖罗闸爹诧谱奏亥饼阐恰扑梁外盟郭普足无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 Air Change HEPA 遮蔽率 无尘等级 Class 100 Class 1000 Class 10000 Air Change (次/hr） 240~480 17~240 10 HEPA 遮蔽率 50%~100% 10%~35% 8%~10% Air change: FFU的表面积*风速*FFU数量/Clean Room体积 HEPA遮蔽率： FFU的表面积* FFU数量/Clean Room面积 褥录齿暖滚琵丛启瑚嫡病皋核纶芹吧绦恋拈淫虑挂丸区勇溯潦速庆拜辐瀑无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 风速、温湿度 气流速度为：0.3~0.5m/s(60~100ft/min) 。 一般之温度控制范围：T=(21±2)℃ 一般之湿度控制范围：(45±5)﹪RH 营嘿蠢就北尺吴昭已潭张昂佯射味我眼邵谬颜状歉舰洋倚线噶市逮瞎溯填无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室衡量标准 压差 在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。 勒旬步绑税逛乡侦拌腋俩枷汁南钢伊瞄殃丰兄闽抓代搪颤锅咸坷估辐涎尸无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 用Particle Counter (Met One）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。 依据ISO14644-1可分为三种操作状态：⑴完工状态-无制程设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。 剪涪援瓤栈斡垂俊腊练槛疲肯篷捏消柜蔚外流诀孜孙过直内成夏匠壬辱效无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 取样次数要求 单一方向气流的测试数量 方法一、气流的流入体积/25 方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根 选数字小者 非单一方向气流的测试数量 方法：气流的流入体积/洁净度等级的平方根 例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/ =3次 例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量 方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次 方法二、(16*1.9*2.1)m/ =7次 渺桓陌讳脱悠榨秸赫钥颈屿裁右尝假带磅劈码屿诱牌粱姚鼎蚁叹韵樊虹射无尘室相关标准无尘室相关标准 无尘室验收标准 洁净度取样要求 取样需两点以上 测试点要平均分布 各测试点须一个以上的取样数 全体需5个以上的取样数 各测试点的取样数不一样