微波工程期中报告.ppt

* * ABMMI 空橋式微帶線微波干涉儀 MSMMI M型微帶線式微波干涉儀 * * * PAP移動式表面波共振吸收探針 * * * * * 微波工程期中報告 論文研討: 王景弘, “M型微帶線微波干涉儀之研製及應用於電漿密度量測分析探討”,國立清華大學碩士論文民國99年七月 報告人: 碩研通訊一甲 MA030102 邱世瑋 Southern Taiwan University Department of Electronic Engineering 摘要 研究原理: 利用微波在真空中及電漿中傳遞的相位不同，利用其相位差來推算電漿密度。 設計方法: M型微帶線微波干涉儀，利用改變微帶線結構來提升微波在電漿傳遞的路徑長度，並維持空橋式微帶線微波干涉儀直接感測電漿方式，進而提升M型微帶線微波干涉儀的靈敏度。 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 微帶線式微波干涉儀量測電漿的方式 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 λg,p:外在環境為電漿時的微波波長 λg,v:外在環境為真空時的微波波長 微帶線式量測電漿的基本原理分析 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 利用傳微帶線的電場分佈去感測周遭環境的變化 微帶線式量測電漿的基本原理分析 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 電漿介電常數隨氣壓變化的影響 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 不同氣壓的介質耗損正切 不同氣壓的透射係數 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 M型微帶線微波干涉儀模擬隨氣壓變化的S21參數跟相位 微帶線式微波干涉儀電場耦合改善 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 微帶線間距太近會有電場耦合的問題，造成量測結果不準確，微波在傳遞時，會有部分電場不會順著微帶線傳遞，而是直接耦合到另一側微帶線上，對結果造成建設性或破壞性干涉。 M型微帶線式微波干涉儀未加鋁牆 微帶線式微波干涉儀電場耦合改善 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 改善電場耦合兩種方法: 微帶線間距 結構阻隔電場 但基板大小固定，不能提升間距，因此在微帶線中間加鋁牆 M型微帶線微波干涉儀加鋁牆模擬前後結果 M型微帶線微波干涉儀模擬分析 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 M型微帶線微波干涉儀結構圖 俯視圖 上視圖 M型微帶線微波干涉儀模擬分析 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 HFSS模擬M型微帶線微波干涉儀加上鋁牆相位差與S參數的結果 電漿密度 (1010cm-3) vacuum 1 2 3 4 5 S21大小(dB) 0.941 0.98 0.893 0.753 0.716 0.914 S21相位(Φ) (degrees) -147 -113 -75.2 -42.3 -13.5 31 相位差(ΔΦ) (degrees) 0 34 71.8 104.7 133.5 178 M型微帶線微波干涉儀模擬分析 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 微波傳遞在真空下的電場分佈 M型微帶線微波干涉儀模擬分析 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 微波傳遞在電漿密度5*1010cm-3下的電場分佈 M型微帶線微波干涉儀量測 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 M型微帶線微波干涉儀實際與模擬S參數的比較 實際測量值和模凝值有些微差異，主要是微帶線結構小，實際製作沒辦法和模凝一樣完美 M型微帶線微波干涉儀量測 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 使用網路分析儀量測M型微帶線微波干涉儀的透射係數，在2.4GHz值大約是-1.31db，透射係數為0.86 M型微帶線微波干涉儀量測 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 在功率為800W時，M型微帶線式微波干涉儀的相位差約44度，空橋事微帶線微波干涉儀相位差約29.21度的1.5倍左右。 M型微帶線微波干涉儀量測 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 MSMMI相位變化對應電漿密度圖 氣壓與電漿密度變化關係之探討 * 王景弘 國立清華大學 工程與系統科學研究所 ,民國99年七月 MSSMMI量測電漿密度對不同氣壓之實驗結果 氣壓上升量測得電漿密度值下降 氣壓與電漿密度變化關係之探討 * 王景弘 國立清華大學