第六章压电传感器课题.pptVIP

4、 测量电路 压电式传感器的前置放大器有两个作用： 阻抗转换； 放大； 前置放大器形式： 电压放大器，其输出电压与传感器输出电压成正比； 电荷放大器，其输出电压与输入电荷成正比。 a、电压放大器 －A －A Ca Ca Ra Ri Ci Cc C R Ui USC USC Ua (a) (b) Ua 图中，等效电阻R为 Fm——力的幅值 外力作用时 C=Cc+Ci 等效电容为 若压电元件材料是压电陶瓷，其压电系数为d33，则在外力作用下，压电元件产生的电压值为 放大器输入端的电压Ui，其复数形式为 相位差： 其幅值： 令τ=R(Ca+Cc+Ci)，τ为测量回路的时间常数，并令ω0=1/τ，则可得 可见，如果ω/ω01，前置放大器的输入电压Uim与频率无关。一般认为ω/ω0≥3，可近似看作输入电压与作用力频率无关。这说明，在测量回路时间常数一定的条件下，压电式传感器具有相当好的高频响应特性。 结论： ①具有较好的高频响应特性； ②改变压电传感器的引线电缆长度，其电缆电容的变化将引起放大器输入信号Uim的变化。因此在测量中通常电缆长度固定（Cc＝常数）。若要改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时Cc将改变，必须重新校正灵敏度值。 ③电压灵敏度， 即，灵敏度与电路电容大小成反比关系。所以一般要求放大器的内阻Ri很大。其输入内阻越大，测量回路时间常数越大，则传感器低频响应也越好。 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器，其基本电路如图。若放大器的开环增益A0足够大，并且放大器的输入阻抗很高，则放大器输入端几乎没有分流，运算电流仅流入反馈回路CF与RF。由图可知i的表达式为 b.电荷放大器 根据上式画出等效电路图 CF、RF等效到A0的输入端时，电容CF将增大(1＋A0)倍。电导1／RF也增大了(1＋A0)倍。所以图中C?=(1＋A0)CF；1/R?=(1＋A0)1／RF。 －A0 Ci Ra R’ C’ USC U∑ q Ca C c Ri 为了方便，压电元件采用电压源的形式，再等效成下图 －A0 Ci Ra R’ C’ USC Ui Ua Ca C c Ri 运放输入电压 －A0 Ci Ra R’ C’ USC Ui Ua Ca C c Ri Z 当A足够大时,传感器本身的电容和电缆长短将不影响电荷放大器的输出。因此输出电压USC只决定于输入电荷q及反馈回路的参数CF和RF。由于1／RFωCF,则 可见当A0足够大时，输出电压与A0无关，只取决于输入电荷q和反馈电容CF，改变CF的大小便可得到所需的电压输出。 CF一般取值100-104pF。 输出电压 运算放大器的开环放大倍数A0对精度有影响，当频率很高时，则 及 由此得A0＞105。对线性集成运算放大器来说，这一要求是不难达到的。 例,Ca=1000pF,CF=100pF,Cc=(100pF/m)×100m=105pF,当要求δ≤1%时，则有 则可计算产生的误差为 当工作频率ω很低时，分母中的电导[1/Ra+(1+A0)/RF]与电纳jω[Ca＋Cc＋(1+A0)CF]的值相当，电导就不可忽略。此时A0足够大，则 其幅值为 当1/ RF = ω CF时 可见这是截止频率点的输出电压，增益下降3dB时对应的下限截止频率为 可见压电式传感器配用电荷放大器时,其低频幅值误差和截止频率只决定于反馈电路的参数RF和CF,其中CF的大小可以由所需要的电压输出幅度决定。所以当给定工作频带下限截止频率fL时,反馈电阻RF值也可确定。如当CF=1000pF,fL=0.16Hz时,则要求RF＞109Ω。 USC与q间的相位误差 结论： ①放大器的输出Usc正比于信号Q，线性转换； ②灵敏度： ③与电压放大器不同，电缆电容Cc与放大器输入电容Ci不会对输出Usc产生影响。 ④开环放大倍数对精度的影响。 当A0不是很大时，必然会产生误差： 当传感器感受振动时，因为质量块相对被测体质量较小，因此质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力，此力F＝ma。同时惯性力作用在压电陶瓷片上产生电荷为 运动方向 2 1 3 4 5 纵向效应型加速度 传感器的截面图 1、 压电式加速度传感器 其结构一般有纵向效应型、横向效应型和剪切效应型三种。纵向效应是最常见的,如图。压电陶瓷4和质量块2为环型，通过螺母3对质量块预先加载，使之压紧在压电陶瓷上。测量时将传感器基座5与被测对象牢牢地紧固在一起。输出信号由电极1引出。 q＝d33F＝d33ma §6-3 压电式传感器的应用举