脉冲电镀基本概况.docVIP

脉冲电镀概况 1、什么是脉冲电镀 利用脉冲电压或脉冲电流的张弛(间隙工作)，增强阴极的活性极化和降低阴极的浓差极化，从而有效地改善镀层的物理化学特性。这种电镀方法称为脉冲电镀。 2、脉冲电镀的基本原理 常见的脉冲电流波形有方波、三角波、锯齿波、阶梯波等。根据确定脉冲波形的几点原则(如实镀效果、便于分析和研究、易于获得和调控、便于推广等)，方波是最符合要求的脉冲波形。典型的方波脉冲波形，如图1所示。由图1可知:脉冲电流实质上是一种通断的直流电。 2.1 脉冲电镀电源的基本参数 传统的直流电镀只有电流或电压可供调节，而脉冲电镀有脉冲电流密度(或峰值电流密度)Jp、脉冲导通时间ton和脉冲关断时间toff3个独立的参数。由ton和toff可以引出脉冲占空比γ。 (1)脉冲占空比γ (2)平均电流密度Jm、峰值电流密度Jp、脉冲占空比γ关系式 由式(2)可以看出:Jm一定时，Jp会根据γ的不同而改变。 2.2 脉冲电镀过程 (1)在脉冲导通期ton内峰值电流密度相当于普通直流电流密度(或平均电流密度)的几倍甚至十几倍。高的电流密度所导致的高过电位使阴极表面吸附的原子的总数高于直流电沉积的，其结果使晶核的形成速率远远大于原有晶体的生长速率，从而形成具有较细晶粒结构的沉积层。 (2)在脉冲关断期toff内高的过电位使阴极附近的金属