薄膜技术.ppt

* 薄膜的分类 装饰膜、包装膜 广泛用于灯具、玩具及汽车等交通运输工具、家用电气用具、钟表、工艺美术品、“金”线、“银”线、日用小商品等的铝膜、黄铜膜、不锈钢膜和仿金TiN膜与黑色TiC膜。 用于香烟包装的镀铝纸；用于食品、糖果、茶叶、咖啡、药品、化妆品等包装的镀铝涤纶薄膜；用于取代电镀或热涂Sn钢带的真空镀铝钢带等。 * 薄膜材料的特殊性 同固体材料相比，由于薄膜材料厚度很薄，很容易产生尺寸效应，就是说薄膜材料的物性会受到薄膜厚度的影响； 由于薄膜材料的表面积同体积相比很大，所有表面效应很显著，表面能、表面态、表面散射和表面干涉对其物性影响也很大； 在薄膜材料中还包含有大量的表面晶粒间界和缺陷，对电子输运性能也影响较大； 由于薄膜对是在某种基片上生成的，因为就会出现薄膜与几片之间的粘附性和附着力的问题，以及内应力的问题。 * 薄膜材料的特殊性 表面能级 表面能级指在固体的表面，原子周期排列的连续性发生中断。在这种情况下，电子波函数的周期性当然也要受到影响，把表面考虑在内的电子波函数已由塔姆在1932年进行了计算，得到了电子表面能级。 像薄膜这种表面面积很大的固体，表面能级将会对膜内电子输运状况有很大的影响，尤其是对薄膜半导体表面电导和场效应产生很大的影响，从而影响半导体器件性能。 * 薄膜材料的特殊性 薄膜和基片的粘附性 薄膜的一个面附着在基片上并受到约束作用，因此薄膜内容易产生应变，二者之间的相互作用能就是附着能，附着能可看作是界面能的一种，附着能对基片-薄膜之间的距离微分，微分最大值就是附着能； 薄膜的一个面附着在基片上并受到约束作用，因此薄膜内容易产生应变。若考虑与薄膜膜面垂直的任一断面，断面两侧就会产生相互作用力，这种相互作用力称为内应力； 附着能和内应力是薄膜极为重要的固有特征。 * 薄膜材料的特殊性 范德瓦耳斯力 不同种物质原子之间最普遍的相互作用是范德瓦耳斯力。这种力是永久偶极子、感应偶极子之间的作用力以及其他色散力的总称。 设两个分子间的上述相互作用能为U，则U可用下式表示： 式中，r为分子间距离；a为分子的极化率；I为分子的极化能；下标A、B分别表示A分子和B分子。用范德瓦耳斯力成功地解释了许多附着现象。 * 薄膜材料的特殊性 静电力 设薄膜、基片都是导体，而且二者的费米能级不同，由于薄膜的形成，从一方到另一方会发生电荷转移，在界面上会形成带电的双层。此时，薄膜和基片之间相互作用的静电力F为： 式中， 为界面上出现的电荷密度； 为真空中的介电常数。 * 薄膜材料的特殊性 实验结果表明 在金属薄膜-玻璃基片系统中，Au薄膜的附着力最弱； 易氧化元素的薄膜，一般说来附着力较大； 在很多情况下，对薄膜加热（沉积过程中或沉积完成之后），会使附着力以及附着能增加； 基片经离子照射会使附着力增加。 * 薄膜材料的特殊性 薄膜中的内应力 内应力究其原因主要分为两大类，即固有应力和非固有应力；固有应力来自于薄膜中的缺陷；而非固有应力则主要源于薄膜与基片之间的附着力。薄膜与基片的热膨胀系数和晶格失配能够把应力引入薄膜。 溅射镀膜过程中，放电气压较低时，高速粒子的能量越大，与薄膜相碰撞的的高速粒子会把薄膜中的原子从阵点位碰离，并进入间隙位置产生内应力； * 薄膜材料的特殊性 异常结构和非理想化学计量比 薄膜的制备方法多数属于非平衡状态的制取过程，薄膜的结构不一定和相图相符合，在这里规定把与相图不符合的结构成为异常结构，不过这是一种亚稳态结构，通过加热退火和长时间的放置还是会慢慢地变为稳态结构。 多组元的化合物薄膜的生长一般都包括化合与分解，所以按照薄膜的生长条件，其计量往往变化相当大。 * 薄膜材料的特殊性 量子尺寸效应和界面隧道穿透效应 传导电子的德布罗意波长，在普通金属中小于1nm，在金属铋（Bi）中为几十纳米。在这些物质的薄膜中，由于电子波的干涉，与膜面垂直运动相关的能量将取分立的数值，由此会对电子的输运现象产生影响。这种与德布罗意波的干涉相关联的效应一般称为量子尺寸效应。 容易制备多层膜和超晶格膜 超晶格膜是将两种以上的物质薄膜按一定的排列方式人为地制成周期性结构后，会显示处一些不寻常的物理性质， * 薄膜材料的特殊性 量子尺寸效应和界面隧道穿透效应 另外，表面中含有大量的晶粒界面，而界面势垒比电子能量E要大得多，根据量子力学知识，这些电子有一定的几率，穿过势垒，称为隧道效应。电子穿透势垒的几率为： 其中a为界面势垒的宽度。当 时，则T=0，不发生隧道效应。在非晶态半导体薄膜的电子导电方面和金刚石薄膜的场电子发射中，都起重要作用。 * 薄膜材料的特殊性 容易制备多层膜和超晶格膜 将两种以上不同晶态物质薄膜按ABAB……排列相互重在一