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基于Cortex―M3控制的全自动芯片制作系统 　　摘要：湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的一种技术，本文结合升降平台，步进电机，组成了整个全自动湿法刻蚀系统。全自动“傻瓜式”刻蚀机，只需按下启动键，就可完成刻蚀并清洗芯片上残留的刻蚀液，方便操作。根据实验的目的不同，实验参数也随之改变，其中根据刻蚀沟道的深度，可以灵活调节电机的速度，平台下降的精度可以精确到1μm/min。 　　关键词：湿法刻蚀； 升降平台； 自动化； 微米级； 程控 　　中图分类号：TP311 文献标识码：A 文章编号：1009-3044（2015）31-0199-03 　　Automatic Chip Production System Based on Cortex-M3 control 　　LIU Song-lin，XIANG Jian-zhen 　　（School of Electronic and Electrical Engineering ，Wuhan Textile University， Wuhan 430200，China） 　　Abstract： Wet etching is the etching material soaked in corrosive etchant conduct a technology， this paper combines li