铸锭车间简介课件.pptVIP

一、目的： 铸锭工序采用定向凝固法，以辐射红外线的方式加热（加热均匀），在铸锭炉生长电阻率0.7~2 Ω.cm的多晶硅锭。 二、设备及工具： 铸锭炉、隔热手套、吸尘器、口罩、硅锭小车、电叉车、电子台秤、硅锭夹子、柱式电动旋转起重机。 铸锭炉工序 铸锭炉 一、系统硬件说明 主体炉 电源柜 控制柜 热区 真空泵系统 返回 控制屏 二、各屏幕使用说明 报警屏幕 模式屏幕 主参数屏幕（1） 主参数屏幕（2） 手动屏幕 图表数据屏幕 三、材料与工艺气体： 装好硅料得坩埚、石墨支撑板、真空脂、异丙醇、压缩空气、冷却水、氩气。 四、操作流程 铸锭炉状态检验 装炉 程序运行过程 程序结束出炉 硅锭卸载 五、流程简介 1）装炉前准备工作 安装坩埚四周的石墨板，对齐石墨板上的螺栓和螺孔，螺母用手稍微拧紧即可，观察石墨板四周和坩埚四周的空隙，移动石墨板确保坩埚居中放置。 检查隔热笼是否正常，且底部的四个角要和炉腔的下沿基本在一个平面上、无倾斜、凹凸现象石墨板的四个角和炉腔的距离一致。 3. 回视炉腔内各部件，包括：DS块、石棉防漏液层、泄漏线、石棉加热器、电极的绝缘垫片等是否正常，如有问题，需找技术人员处理。 2）铸锭炉装炉 确保下炉腔在下限位置，用吸尘器清洁炉腔，温度高时禁止操作，避免烫伤人体或污染石墨板。 检查坩埚装料和石墨支撑板的状态，确认无异常后试用装/卸料叉车，托起装好了的坩埚支撑板，注意坩埚的平衡性，要使坩埚支撑在两个叉臂的中央。 升高叉臂之上限位，小心驾驶进入下炉腔两导轨之间，缓慢降低坩埚，慢慢的放到DS块上，用尺子测量DS块到石墨板四个边缘的距离均为4±0.5cm，确定石墨支撑板居中，把坩埚放到DS块上，在此过程中，需注意叉车臂底部不要压倒顶部石墨板。 将坩埚放在DS块上后，慢慢移出叉车。 用百洁纸和异丙醇清洁上下炉腔法兰盘断面，然后在下炉腔密封零位上均匀涂一层薄层高温真空脂。 手动操作打开下炉腔升降控制屏，提升下炉腔。下炉腔开始向上移动，逐渐加速至最大速度35cm/min，在触发上不加速限位后，速度降为5cm/min，触发上限为后，下炉腔停止，最大速度禁止超过40cm/min（严禁！！！） 上下炉腔闭合后，锁住下炉腔到上炉腔的4个安全卡子。 在《铸锭炉跟踪单》上做好记录，打扫铸锭炉周围的卫生。 3）程序运行过程 加热---熔化---生长---退火---冷却 加热 加热区，程序第一段是一个默认步骤，不能通过配方改变，该段的作用是对加热元件预热，隔热层从38cm降至零位，如果归零出现问题，系统自动弹出报警。 熔化 熔化是将固体硅转化成液体硅，温度最高可达1560度，是温度最高段，应提起特别重视 在第十段，熔化结束，出现报警，弹出熔化是否完成的确认窗口，发出警告。出现第一个报警后，点击“Cancel”,之后由操作者在中心观测孔观测是否融化完成，连续观测3-5分钟，若没有硅料固体出现，点击“Agree”，程序方可继续运行。 生长 此阶段为长晶阶段，观察隔热层丝杠位置确人升降系统是否正常工作。在第六段剩余3小时，会发出报警声，弹出透顶确认窗口，此时操作者应在中心观察孔观察是否透顶，确认透顶后，点击“开始延迟”，延迟时间设定在主参数屏幕上，延迟时间一般是15-60分钟，延迟完成后自动跳至下一段。 退火 隔热层下降至零位，温度降至1370度恒温，开始退火处理。 冷却 冷却运行11小时左右，整个硅锭循环结束。 注意： 在铸锭过程中由几个关键点：熔化报警、透顶报警、长角报警。整个铸锭循环过程中，如果熔化和生长前期阶段发生异常，将是设备处于非常危险状态，必须予以严密关注。 各阶段均要认真填写《铸锭炉运行记录表》，出现异常，应立即汇报技术员处理。 谢谢！ * * 铸锭车间简介 主讲人：张国闯 光为绿色新能源有限公司 硅锭的各种参数要求： 1. 重量及外观尺寸 质量：400±0.8kg 外形：840mm×840mm×250mm 2. 硅锭的电导性能（硅锭的导电类型为p型） 电性能一级标准： 电阻率：0.7Ω.cm≤ρ≤2Ω.cm 且平均少子寿命：τ≥2μs 电性能二级标准：