3mm准光腔测试介质片复介电常数及其分布.pdfVIP

2005’全国微波毫米波会议论文集 3mm准光腔测试介质片复介电常数及其分布 雷丹张其劭郭高风李宏彦 (电子科技大学微波测试中心，四川，成都，6100541 摘要研制了工作在101．8GHz的测试介质片复介电常数及分布的准光学谐振腔测试系 统。系统采用固定腔长法，商新波束的束腰半径为2．36mm。此方法具有不损伤薄膜，灵敏 度高，并能检测大面积介质片复介电常数分布的优点。 关键词准光学谐振腔，介电常数，损耗角正切，品质因数，谐振频率 选题号8 引言 近年来随着毫米波、亚毫米波理论和技术研究的发展，准光腔在毫米波、亚毫米波中的 应用越来越受到人们的重视，准光腔是精密测量低损耗介质复介电常数的有力工具”，2J。低 损耗介质的复介电参数是科研和工程中常用的重要参量。 本文设计和制作了工作在101．801GHz下的开放式谐振腔测试装置，准光学谐振腔南‘ 球面镜和一平面镜构成，其中一平面镜与移动装置相连，球面镜L有耦合孔。通过测量空腔 和加载薄膜样品后谐振频率的变化以及腔体品质因数Q值的变化，计算介质片的介电常数 和损耗角正切。准光腔中高斯波束的束腰半径为2．36mm，调节移动装置，可实现对丈样品 的扫描测试，从而得到介质片复介电常数的分布。 一、测试原理 图一为球面镜和平面镜组成的半对称谐振腔。 平面镜 图一 因为谐振腔的尺寸远远大于光波波长，并且在傍轴条件下，腔内场的分布是某种形式的 高斯光束阿。当能量从耦合孔进入腔体，激励准光腔内存在的多种模式，由于TEMooq模式 有最火的谐振峰值，所以把TEMoo。模式作为丰模，当谐振腔长Dq满足下列条件时腔体谐振 n 厶：I(q+1)+型 I 石 去 k 2005’全国微波毫米波会议论文集 式。}，Dq为}皆振腔的腔长，凡为球面镜的曲率半径，p、]、q为TEMPl。的谐振模式，q+l为半 渡数。本系统采用高斯波束的基膜，所以p：l=0。 对于反射式谐振腔…，空腔的品质冈数为 Q。。=(i+f1)Q。』 (2) Qol=‰|勾’ ‘31 式中矗。足空腔的谐振频率，Ⅳ为3dB带宽对应的频率差，p为波导和谐振腔的耦合系数， q”为空腔无载品质因数，00·足空腔有载品质因数。 当把厚度为t的样品放在平血镜上，谐振腔的谐振频率和无载品质因数会发生改变。在 确定的谐振腔长下，根据置入样品后谐振腔的谐振频率五。，计算出样品的相对介电常数￡7。 相对介电常数计算公式 1 二tan(nkt一谚)=一tan(kd一九) (4) 式中 (5) (6) 谚=arctan(t／nzo) 办=arctan(d／zo)一arctaIl(f／H2z。) 垢=瓢(阳席)(R岳幽2)r (7) d=Drt(8) (10) z。=扣雨F两 (9)d4=d+了t 其中∞o为束腰半径，k=2牙／五为波数，竹=√占’为样品的折射率。 tan占：上一坠±型 (¨) Q地+去陋(槲一九)] 式中 土：上一一1(12) QQ0。 Q， △5不i面i丽F／2磊可石而 (14) 由相对介电