AgTi合金电极和LSMO功能层对MetalPr07Ca03MnO3Pt异质结电致电阻转变特性的影响.pdfVIP

中图分类号：0469 密级： 公开 UDO： 530 学校代码： 10094 讶{I￡解菡丈李 硕士学位论文 (学历硕士) 电致电阻转变特性的影响 andLSMOfunctionon of electrode Influence layer Ag—Tialloy resistance inMetal／PCMO／Pt switchingproperties 作者姓名：王仲伟 指导教师：陈伟教授 学科专业名称：凝聚态物理 研究方向： 薄膜物理学 论文开题日期：2009年12月1日 学位论文原创性声明 l Y1 869280 本人所提交的学位论文《Ag-Ti合金电极与LSMO功能层对 独立进行研究工作所取得的原创性成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文 不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出重 要贡献的个人和集体，均已在文中标明。 本声明的法律后果由本人承担。 ． 指导教师确认(签名) 矽77年g-月力日 ’ 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解河北师范大学有权保留并向国家有关部门或机构 送交学位论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权河北师范大学 可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩 印或其它复制手段保存、汇编学位论文。 (保密的学位论文在——年解密后适用本授权书) 论文作者(签名)；j一怫 指导教师(签名)：讨纬 a,,,l／m 伽『『年5月谚日 F月谚日＼ 摘 要 随着信息科技的飞速发展，存储器得到广泛的应用，高速度与大容量的永久 记忆存储器的研制与开发是推动数字技术快速发展的必要条件。电阻式随机存储 器凭借其结构简单、读／写快速、低功耗、与CMOS工艺兼容等优点，有着广泛的 应用前景，已成为材料学，物理学和电子学研究领域的热点。目前，RRAM的研 究主要面临两个方面的难题有待解决。首先，电阻转变的物理机制仍不明确，其 次RRAM器件的稳定性，均匀性和疲劳特性等阻变性能与实际应用还有很大差距。 场和电脉冲诱发条件下电阻转变特性进行深入的研究。主要研究结果如下： 1．通过磁控溅射、PLD和喷涂仪方式制备Ag电极，分别对这三种方式得 到的Ag／PCMO／Pt异质结阻变特性进行研究。实验结果给出采用不同方法得到的 样品展现出不同的阻变特性。磁控制作电极的样品得到低的转变电压，高的电阻 转变率，但样品均匀性很差，样品成品率低。PLD制作电极的样品难出现电阻转 变特性。空气喷涂制作电极的样品成品率高，均匀性较好，但是疲劳特性差，电 极不牢固不适合生产应用。实验给出单纯通过改变电