基于分子动力学的超晶格薄膜的导热系数影响因素分析.pdfVIP

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2017-03-17 发布于广东
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基于分子动力学的超晶格薄膜的导热系数影响因素分析.pdf

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基于分子动力学的超晶格薄膜的导热系数影响因素分析.pdf

V01．19 第19卷第5期传感技术学报 No．5 AND 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS Oct．2006 ofFactors theThermal of Analysis Affecting Conductivity theMolecular SimulationMethod Using Dynamics HUHanl，CHENMin—hual，CHEN Yun一知i1’2+ Mechanical of Engineering，Southeasttiniversity，Nanjing210096，China’ ，1．College 、 l MEMSEducation 210096，China／＼2．Keyaboratoryof of Ministry，SoutheastUniversity．Nanjing Abstract：Thethermal of filmswasstudiedan molecular conductivitysuperlattice usingequilibriumdynam- icssimulationmethod，andthethermal oftwomaterials the wascalcu— conductivity composingsuperlattice lated factors the thermal ofthinfilmsdiscussedinclude respectively．The in-plane conductivity affecting themassof well thelatticeconstant，etc．Thesimulationresultsshowthatthe particles，thedepth，and twodifferentmaterials the havea littleaffectiononthethermal toeach buildingup superlattice property inthe ofthe materialswillaffectoneanotherthethermalcon— other．However，thewell two change depth of strain intheinterfacesofthe becausethelatticemismatch，the ductivitygreatly，and appears tice．thus anobviousmodificationo