基于半导体制冷器的激光功率测试仪的研究.pdfVIP

电子测量与仪器学报 2005年增刊 基于半导体制冷器的激光功率测试仪的研究 王艳吴忠明 150001) (哈尔滨：I：业大学机电jI：程学院哈尔滨 摘要： 基于半导体制冷器的激光功率测试仪利用黑体接受入射激光能量，并将其转化为热量，采用帕尔贴器件将热转换 成电流，实现光功率的测量。整个能量转换系统由温控电路、半导体致冷器、黑体、热敏电阻组成，能快速转化光能，测头 能承受较大功率的激光照射。测头内，两个串联的半导体致冷器使半导体致冷器冷热端温度稳定存室温下。在双层温度控制 电路中，采用比例积分调节器和积分分离方法，因此系统能快速达到稳定状态。此激光功率测试仪具有无波长依存性、响应 速度快、线性度好、体积小、成本低和可实现较大功率范围测量等优点。 关键字：帕尔贴效应黑体半导体制冷器光功率测试 onSemiconductorFreezer PowerTesterBased ResearchoftheLaser YanWu Wang Zhongming ofMechanicalandElectrical Institute (School ofTechnology,Harbin，150001) Engineering，Harbin Abstract：Thelaser testerbasedonsemiconductor uses to the oftheincidentlaserand freezer,which power blackbodyacceptpower heatintocurrentandrealizethetestof whole convertsitinto Peltierelcmenttoconvert opticalpower．Theenergy he缸applies conversionismadeof andthethermal carl circuit,semiconductor resistor,it system up temperature．control freezer,blackbody canbeartheirradiationof laser．Inthe semiconductor convertthe ofthe detector quickly power laser,the high—power detector,two theroom freezersinseriesformmakethe bottIcoldandhotsidesofsemiconductorfreezer under temperature．In temperature steady double-deck andmethodof are the