基于极化聚合物SU8DR1的材料性能研究和波导结构设计.pdfVIP

仝㈧第阴届塑料光纤、聚合物光予学会议论文集 基于极化聚合物SU一8／DRl的材料性能研究和波导结构设计1 单志博 陈长呜 赵航高伟男 孙小强孙杰张大明+ (集成光电了学同家蕈点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院， 长春130012) 摘要： 本文探索了一种掺杂型聚合物SU．8／DRl，作为可用于制备电光开关波导的电光材料。在 测量材料薄膜的电光系数，发现经紫外曝光变联后样品的电光系数达到40pm／V以上，比曝光前增 厚和旋涂转速的关系。根据以上结果选择合适的工：艺条件，利用有效折射率法设计矩形单模波导。 关键词：SU一8／DR1；主客掺杂型极化聚合物：紫外曝光交联；光波导设计 1引言 光开关是光差分复用和光交叉互联的核心器件，研制高性能、低成本的光开关和光开关阵列对 于光纤通信技术的发展具有重要意义…。目前用于电光开关的材料主要有无机材料Si、SiO!、InP、 GaAs、LiNO，和有机聚合物材料。和无机物楣比，有机聚合物具有易于加工、折射率可调、传输损 耗小、电光系数高、电光响应速度快、介电常数低等优点[21，已经成为国际国内的研究热点。 研制聚合物电光开关的基础是利用非线性光学系数较高的极化聚合物材料制备出单模波导，以 满足电光调制和通信传输的要求。这要求我们一方面探索电光系数稳定、非线性光学特性较强的电 光材料f3’4】，另一方面，要准确测量聚合物波导材料的折射率和精确控制芯层尺寸。同时，由于光在 口中吸收系数较小的聚合物作为光波导材料。 SU．8紫外固化光刻胶广泛应用于微机械加工领域，是一种环氧树脂型紫外光刻胶，具有良好的 力学性能、抗化学腐蚀性、热稳定性倒--r--1很4强的自平整能力。在受到紫外辐射后曝光区域发生交联， 可以采用湿法刻蚀制备各种图案，且边缘垂直整齐，形貌好。由于具有以上优良性能，近年来也被 是0．22dB／cm和O。48dB／cmi6j。但国内用它制备波导的报道较少。 本文尝试利用掺杂分散红(DRl)的su名光刻胶作为电光波导芯层材料，利用椭偏仪对其折射 率和膜厚进行了测量，得到了曝光时间与折射率、转速与膜厚的关系；用简单反射法对材料电光系 数Yj。进行测量，发现经紫外曝光交联后材料的电光系数明显大于未曝光时。同时利用纯SU一8光刻 胶作为下包层材料，测量了折射率与曝光时间的关系。通过以上测量选取合适的工艺条件用有效折 射率法设计出单模波导。 2材料合成和薄膜制备 将非线性光学系数较高的生色刚分子DRl掺入SU．8光刻胶中，形成主客掺杂型极化聚合物。DRl 在SU一8稀释液中的溶解度比su．8光刻胶大．但考虑到加入稀释液后薄膜厚度会变薄，因此需要平衡 混合后室温下搅拌20d,时使材料充分分散溶解。 ‘国家重点基础研究发展规划(973)项目(项目号：2006CB302803) +通讯联系人：张大明E-mail：墨丛n翻融④l地墨照电话：0431 96 个Ⅲ第网聒塑料光纤、聚舟物光r学会议论文橐 电压下边电晕极化边巾烘固化，得到极化聚台物薄膜。 3性能表征 3．1薄膜表面形貌 制备出极化聚合物薄膜后．我们对其表面形貌进行了观察。肉眼观看薄膜表血平整，成膜性良 好．在光学显微镜下放大1000倍观察不到相分离和分散红颗粒。将制备好的薄膜用原予力显馓镜观 察表面形貌，如图I所示： 倒I SU-8／DRI薄膜原子力显微镜照片 图2 SU．8／DR[材料吸收光谱 从照片可以看出．薄膜表面平整，分析表明表面平均粗糙度为0329nm，表面峰峰值329rim。判 断DRI已均匀分散在SU-8聚合物体系中，没有团聚现象，可以阁来制各光波导。 3．2材料吸收光谱 和l550nm通讯窗口处光吸收系数较小，因此由材料光吸收引起的损耗较低．适于制各光波导器件。 3．3材料折射率和膜厚 制各单模光波导的关键是准确测量材料的折射率．精确控制波导芯层尺寸。SU一8是一种紫外固 化光刻胶，在紫外曝光中烘后发生交联反应。在实验中我们发现，曝光时间不同．光刻胶的交联程 度就不同，造成材料的折射率随曝光时间发生变化。为了精确选择工艺条件，有必要对不同曝光时 间下的折射率进行测量。实验中我们使用椭偏仪测量折射率，拟合中选用柯西模型。 关波导，