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如何选择和使用涡轮分子泵 杨乃恒，巴德纯，王晓冬，刘坤 (东北大学，辽宁沈阳110004) 摘要：本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理．结构型式厦其优缺点。为了利用涡 轮分子泵，获得清洁真空，国外多利用于式机械秉作其前级幕，构成无油的真空系统。然 而，目前国内涡轮分子摹多以油封机械泵为其前级泵，构成了有油系统，如果操作不当， 很难避免油蒸汽返流，对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空，国内外都有一些 有效防止逗流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系 统获得清洁真空．有一定的参考价值。 美蕾词：涡轮分子秉：返流；充气 当今，现代化的半导体行业中，越 来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻 蚀、蒸发、注入、分子柬外延、离子加工 等设备都需要在真空环境下运行。又如 电子显微镜，表面分析仪器，残余气体 分析仪及氮质谱检漏仪等也经常使用 涡轮分子泵来抽真空。此外．在宇宙模 孱著。 拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀 膜生产线上也都改用大型祸轮分子泵 图1(a)立式涡轮分子泵结构示意图 或低流泵来代替油扩散泵系统。以防止 图1(b)带磁轴承的立式涡轮分子泵结构示 油蒸汽的污染。因此，最近十几年来，涡 轮分子泵，在国内外都得到了显著的改 进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增 加干式的前级泵还没有大量普及和应 用的情况下。有时还不得不用油封机械 泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针 对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用 和正确操作是很重要的。弄清楚涡轮分 子泵的特点和使用方法，对用户是很必 要的。 1 涡轮分子泵的结构型式与工作 囝2卧式涡轮分子泵结构泵意图 原理 涡轮分子泵的工作原理很简单。当气 涡轮分子泵在结构上有立式和卧式之 体分子以“碰撞到运转速度为审。(400 分，如图l(a、b)为立式泵结构示意图，图 m／s)的表面上，就会被携带转向到叶片的 2为卧式泵结构示意图。 运动方向上如可陀。(如图3)典型的涡轮分 子泵是在分子流范围内工作的。人口压力 可以1×10‰rr延至10。1‘Tort。 涡轮分子泵叶片在非常高的速度下， 使气体分子被连续不断地折射，转向和压 缩，气体分子被叶列压缩到前级侧后被前 级泵排出。典型的前级泵多为小型的油封 式旋片泵或干式机械泵。 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 M，Z (极限压力为2×104Pa(200nPa) 图4 涡轮分子泵典型的残余气体的频谱图 图4表明涡轮分子泵系统中不含有 碳氢化合物，曲线上17和18为OH+和 图3 涡轮分子泵的工作原理示意图 H20+。 (2)使用方便 泵中的这种旋转的涡轮叶列称为转 在许多应用中，涡轮分子泵可不用高 子，被装在由轴承支撑的轴上。两个转 真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电 子叶片圆盘之间有静止的涡轮叶片称 作定子。它安装在泵壳内，每一对转子 钮，泵便能开始工作。从大气压力可降至极