矽晶的性质.ppt

矽晶的性質 指導老師：王振乾老師 499L0009 林杰翰 (收集資料、製作WORD) 499L0010 吳旻葦 (收集資料、製作PPT) 499L0012 劉榮軒 (收集資料、製作PPT) 緒論 起源於1930年代的Gudden。在二次世界大戰時大量利用矽晶來發展雷達偵測器，使得人們加速了解半導體的導電現象，使得二極體、電晶等元件陸續被開發出來。接下來的一、二十年內，人們建立對矽與鍺二元素基本性質的元整了解。由於矽的高溫性質優於鍺，使得矽成為這半個世紀以來最廣為使用的積體電路材料。如常見的微處理器（CPU)，動態隨機存取記憶體（DRAM）等，皆是以矽為主要材料 近十年來，矽晶工業則著重於改善結晶的完美性與純度，以因應積體電路技術的需求。使得矽晶的性質成為影響IC製程良率的主因之一。因此了解矽晶的基本特性是必須的！ 結晶性質 當結晶物質的原子排列之週期延續一定的大小時，稱之為單晶(single crystal)。 當結晶物質的原子排列之週期性在一邊界處中斷時，即稱之為多晶(polycrystal)。 在半導體元件的應用上，大多使用矽單晶當作基材。而矽的結晶性質將影響到整個矽晶材料的特性。 矽的結構圖 能帶理論 隨著原子間距的遞減，每個特定的能帶開始分離形成能帶，當原子間距減小到趨近鑽石結構的平衡原子間距時，連續性的能帶又分開成兩個不同的能帶，在上面的能帶稱為導帶(conduction band)，在下面的能帶稱為價帶(valence band)，這兩個被一個能所間隔著，這能量間距稱之為能隙(bandgap)，他代表折價帶中的電子要激發到導帶時，所必須克服的能量障礙。 光電效應 光電效應是指半導體或絕緣體的導電性，因為吸收電磁輻射而增加的一種過程。可以促進光電效應的波長通常為在可見光譜的範圍之內，但有時紅外光、紫外光或X-光也可引起光電效應。電效應矽由於價帶中的電子被激發到導帶，因而產生電子-電洞對促進導電性，因此光子能量必須大於能隙。光電效應是暫時性的，當光源移去之後，導電性便會慢慢蛻變到穩定態的值。 化學式 從砂到矽 加熱(2000 °C) SiO2 + C → Si + CO2 砂 碳 冶金級矽 二氧化碳 多晶態沉積, 電子級矽材料 加熱(1100 °C) Si(s) + 3HCl(g) → SiHCl3 (g) + H2 (g) 冶金級矽 材料氯化氫 三氯矽烷 氫氣 環境汙染 矽的製程與耗能的問題？是否真潔淨？是否高節能？中國科學院院士簡水生曾指出，目前生產多晶矽的企業，一般都採改良西門子法，使用該方法，1千瓦的太陽能電池約需10公斤的多晶矽，需要消耗電能5,800~6,000度，所使用的冶金級工業矽，需要消耗電能1,200~2,000度，接續生產矽棒、矽錠，需要消耗電能800~1,200度，總計耗電能7,800~9,200度，耗電量十分巨大。 以多晶矽為例，西門子反應器只有約25%的轉多晶化效率，且生產1kg矽會有約20kg四氯化矽產出，如經由高溫轉化成氫化回收三氯矽甲烷，其用電及費用投資很高，不符節能及成本目標，這是值得深思的問題，且三氯矽甲烷的易燃性及腐蝕性問題亦得留意。 參考資料 1.矽晶圓半導體材料 (作者：林明獻) 2.各行業空氣污染防制技術輔導及案例 .tw/ 3.勞工安全衛生研究季刊　民國九十一年三月第十卷第一期　.tw/data/f16/shp10_1_1.pdf 4.奇摩知識加 /question/question?qid=1508072802950 5.矽之探討 (作者：鄭羽辰) .tw/works/essay/2008/03/2008032523254663.pdf 謝謝大家耐心的聆聽 * *