无铅压电陶瓷研发中的电子探针分析.pdfVIP

电子显微学报J．Chin．Electr．Microsc．Soc． 25(增刊)：305—3062006年 305 无铅压电陶瓷研发中的电子探针分析 郑 曙，肖少泉 (中国地质大学(武汉)地质过程与矿产资源国家重点实验室，湖北武汉430074) 目前压电陶瓷是实现机械能与电能相互转换的 纯金属作为标样。Ba元素选择BaF2中的Ba元素 功能材料，是一类重要的电子材料。其应用范围从 21．87。Na元素 作为标样。化学成分：Ba78．33；F 蜂鸣器、滤波器、点火器和超声清洗器，到牵引式阵 选择硬玉矿物中的Na20作为标样，硬玉矿物的化 列声纳、医用图像系统、喷墨印刷头、照相机快门、定 学分析：Si0259．38；Ti020．03；她0324．39；FeO 位器和传感器等。多层压电致动器技术已在汽车的 0．01o 0．23；MgO0．37；CaOO．61；Na2014．79；K20 大量应用上得到了验证，例如燃料注入系统和悬置 系统。特别是在一些能承受相对高的成本的应用领 系，寻峰2次，测量时间15s，背景测量时间5s。Na 域。这方面的应用包括磁记录定位头、扫描隧道显 元素选用第一道谱仪的TAP晶体，背景测量值及峰 微镜、条码记录器，用于反馈刹车系统的传感器，用 位距离在±6mln。Ba、Ti、元素选用第二道谱仪的 于激光印刷机的上色传感器以及超声骨头愈合器。 PET晶体，Mn、Bi选用第三道谱仪的LiF晶体。背景 压电陶瓷有一些特殊的生物医学用途。例如，压电 测量值及峰位距离在4-4m．m。定量分析避开图3 单晶可用于未来的超声图像系统。在压电陶瓷领域 和图4中的亮斑点进行随意选择的点位测试的结 中，长期以来由锆钛酸铅(PzT)占主导地位。PZT 果，测试结果见表1(注：分析的结果为归一化成分， 基陶瓷的主要成分是PbO，PbO是一种有毒物质，在 烧结温度下具有挥发性，对人体、环境造成危害。为 表1 避免铅的污染，人们认识到无铅压电陶瓷的必要性， 提出研究无铅压电陶瓷。目前，无铅压电陶瓷材料 主要有铌酸盐陶瓷(如LixNal．xNbO，陶瓷)、铋层状 结构压电陶瓷(如Bi4Ti，O。：陶瓷)、钛酸盐陶瓷(如 BaTiO，、Nao．，aio．5TiO，陶瓷)等。其中研究较多的是 Nao．5巩．5Ti03基压电陶瓷。Nao，5Bio．5Ti03简称NBT， 主要是通过NazCO，、Ti02、Bi：0，等原料烧结而成。 虽然Bi203是一个低熔点、易挥发性的氧化物，但在 烧结中烧失量通常不到0．20％，挥发失重相当低， 对压电性能没有明显的影响，同时Bi：O，不溶于水 也不溶于酸，不会对人体造成影响，不存在环境问 题。可以预料我国不久的将来也将有禁用有铅的压 电陶瓷的法规，同时也应该注意其它有害的元素添 加到压电陶瓷中，例如Hg元素的添加元素。 在工作中研究两种不同无铅压电陶瓷配方： a)o．94Bi／2Na／2Ti03—0．06BaTi03+0．8wt．％／MnC03； b)0．94Bi／2Na／2Ti03—0．06BaTi03+1．5wt．％／ 1800C，添加0．8wt