日本大气社有机排气处理AdmatRTO系统简介.pdfVIP

戤玛 日本大气社有机排气处理Admat—RTO系统简介 孙开盂和维 (五洲工程设计研究院) 【内容摘要】：对一种新型的IT行业，液晶，半导体电子工厂有机废气处理系统的原理，方案及实例 进行了介绍． 蓄热式直接燃烧装置RTO 【关键词】：有机排气浓缩装置Admat 改革开放以来，在沿海经济技术开发区以及苏浙地区迅速发展了一大片IT电子工业园区，重点 工业都是电子工厂，其中以日本和台湾的电子工厂居多，例如索尼，松下．村田，日立，明基等企业， 这些工厂具有很大的规模，基本上都是集成印刷电路板或者电子元件的生产基地，这就带来了一个严 重的污染源——有机废气。我院90年代开始与日本大气社合作交流，在这些工厂陆续引入了日本大 气社自行研制开发的全新的有机排气处理系统，现将其进行简单的介绍。 1大气社有机排气处理系统 1)大气社排气处理系统的历史 大气社有机溶剂排气处理装置的实用化，对外销售及施工始于l9 84年。大气社连续吸附式浓 奖．。 2)连续吸附式浓缩装置的实绩 系统名称[AdmatSystem] 20—3295 72套(自1994年) 13(N)／min ※包括海外出口部分(中国，美国及其他国家) 液晶工厂及半导体工厂使用 9套 ※[SeikoEpson]，[NEC相模原]，[松下电器]等 出口中国 1套(2002年) ※[KyoceraMita] 3)蓄热式直接燃烧装置(RTo)的实绩 系统名称[RTO] 45—130013(N)／min 72套(自1998年) ※包括海外出口部分(中国，东南亚，韩国) 液晶工厂及半导体工厂使用 5套 ※[SeikoEpson]，[NEc相模原]等 出口中国 4套(自2001年) ※[SonyChemical]，[CBCINGS]，[上海松下(SMPD)]，[苏州佳能] (尬GTEc公司的中国实绩25套) 4)本排气系统的特征 本排气处理系统可以从洁净厂房内的生产线开始对排气风道及其压力控制进行综合连贯的计划， 设计具有一个良好的体制来对应生产运行后的条件变更，技术人员能够迅速细致地对条件变更作出响 应以确保系统的最佳运行。 2本有机排气处理系统方案的概要 充分考虑液晶生产工艺有机捧气的特性， 建议采用连续吸附式浓缩装置[Admat系统] 254 系统特征：运行成本最低，实绩丰富。 1)Admat的特长 ☆本方案只针对有机和剥离两排气系统中的有机排气系统。由于不考虑剥离系统，可以充分发 挥吸附浓缩法的特长。(人气社最先实现吸附浓缩法的实用化) ☆吸附浓缩法将大量的稀薄有机排气浓缩成高浓度小风量排气．再将浓缩排气送往后处理装置 RTO进行处理．本装鹭与从前设备相比具有外形紧凑，重量轻，节能等多项优点。 ☆浓缩装置转子中的吸附材料采用球水性沸石。 ☆运行浓缩倍数范围10-15倍，净化效率95％。 (为对应高沸点成分脱附，脱附温度可设为200℃．) (宰)性能劣化对策一一通常运行时可以进行高温脱附操作以维持性能良好。 ☆脱附后的浓缩排气送往蓄热式直接燃烧装置(RT0)经高温氧化分解成为无害的二氧化碳(C02) 和水(H20)排空。RTO具有98％以上的净化效率，并具有95％以上的热交换效率，非常节能。 因为溶剂燃烧热的热回收效率高，在通常运行中可以充分节约燃气的消费，高浓度排气处理时实 现自燃运行不消费燃料， 因此比其他处理方式具有突出的节能运行能力。 燃烧装置的废热作为浓缩装置的脱附热源加以利用．通过废热的最大限有效利用实现经济的节能 运行。 不受有机硅等的影响。在丰田汽车广濑工厂设置的系统中，排气含有机硅，经过5年多的运行， 至今未发现压力变化和性能。特别是不用担心RTO蓄热材料的闭塞。