三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究.pdfVIP

第27警第3A期 双脚年 9 月 计最学报 A口A M回ROLOGlCA SINICA Vol. 27 , No 3A Septen企er ， 2(削 三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测最方法的研究 江洁， 常亲萍，谢铁邦 (华中科技大学机械科学句工程学院，湖北武议 43腑的 摘要:墨子白光干涉睡直扫描轮廓测量原理，研制出一种以 6JA 干涉显微镜为基础，配合自带计量相射光栅测 量系统的精密垂直位移工作台，从而实现大毡围、商精魔王锥表面轮廓测量的方法。实验结果表明，果用自光干涉 垂直扫描轮廓测量方法，可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时，其垂直测量商圈可达朋 μm 的王维表面 轮廓测量耍求。 关键词:计量学;表面王维轮廓测量;垂直扫描白光干涉法 中图分提号:ηη 文献标识码:A 文章编号: 1αJO-1l58(2伽)3A-Ol胁。4 Research of Vertical Scanning White-light Interferometric Measuring Method for 3D Surface Profile W ANG Jie , CHANG Su利鸣， XIE Tie-bang (Department of Mechanical E咱neering ， Huazhong Universíty of Science and T，创Imology ， W叶酬， Hulei 43{阳4 ， Chína) Abstract: The principle of verticaI s咄ming 州附 p耐le u且时制.te li份，t interference is ill灿duced. The measuring meth- od of 1arge range and hígh reω，lution for 3D surface profùe ba舱d on 也is principle is also described. It is based on 6JA interferom- 伽r and a 阴阳sion vertical sta喜ewithamωsuring sys协m ofr曲ecting hologram diffraction. 币le vertical scωming measuri吨 meth- od for surface profile using whíte light interference is able to realize 80 阳 mωsurement range. At the 锦me time itωuld content m幽uring 阳vey and precision with nanometer level. Key words: Metrol咽; Surface 3D profile m酬U阳n剧; Vertical 优anni鸣阳thod using whíte li阶t interference 1 号|言 在表团主维微观形貌的测囊方法中，近年来光 学非接触测囊法深受政迎，其优点在于: (1)可直接 测最软金属表阁、生化材料表酣、橡胶我酣、含信息 表面以及超精加工表面 j (2)测量速度快，测量精度 高。其中干涉测量技术巳获得相当广泛的应用与需 求，一方面是因微电子、微机械、微光学和现代工业 提出了越来越南的精度需求，另一方面是干渺测撞 技术本身具有关敏殷商、造成恶劣环境等优蹦条 件，四此使用干攒法作为测最技术应用非常广泛。 目前国外果用光学干涉法的测量解析度及精度 大致可符合需求，但测量拖围不尽如人意，如目前受 收稿日期: 2刷-06-05; 修周日期: 2峭峪25 到瞩目的纳米锻精密~tl盘仪器 AFM、 SPM 及 SNOM 簿，虽然具有纳米级的测量解析度与精度，~且测量范 围极小，…般仅达数 μmj 由上海光学仪器厂生产的 6JA 干涉显微镜是基于自光干涉原理的非接触测量 表面粗糙度的主要仪器，主要用于测最 R. 为 0.03 -1 川(Y 10- y 14)的表酣粗糙皮、零件表酣刻钱、刻槽 镀屁(透明)够深度，但由于所测:仁件崎谷的高度差受 限于白光干涉的干涉长度，无法进行微观高度越过 10 阳的大姐围测量且~直方向分辨率低，测置误兹大， 且 6JA 干攒显微镜是通过人工读数获取轮廓上数十 个点的数据来评定表酣轮廓，不够充分、准确，不能满 足国家标准或国际标准的规寇。有鉴于此，本研究将 建立较大范围的纳米干涉测量技术，在创A 干渺显微 镜基础上，配以纳米计量服功工作台、CCD 撤像机、计 作者简介:汪泊(1972 制)，女，湖北糟江人，华中科技大学机械学院工稳师，硕士，主要研究方向为精密测最技术。 阳叫毗@mail. h阳t