微执行器件.pptVIP

微流体中的执行器件----微泵与微阀 田丽 2014.04 微执行器件 Micropump Mocrovalve 致动力类型 类型： 压电动力（piezoelectric driving） 电磁动力（electromagnetism driving） 静电动力（static driving） 气动力（pneumatic driving） 热气动力（thermo－pneumatic driving ） 其他 压电效应 （Piezoelectric effect） 正压电效应：当晶体受到某固定方向外力的作用时,内部就产生电极化现象,同时在某两个表面上产生符号相反的电荷； （1）当外力撤去后，晶体又恢复到不带电的状态； （2）当外力作用方向改变时，电荷的极性也随之改变； （3）晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。 逆压电效应：指对晶体施加交变电场引起晶体机械变形的现象。 压电敏感元件的受力变形有： 厚度变形型 长度变形型 体积变形型 厚度切变型 平面切变型 压电晶体是各向异性的，并非所有晶体都能在这5种状态下产生压电效应。 电磁驱动 电磁驱动：如果磁场相对于导体运动，在导体中会产生感应电流，感应电流使导体受到安培力的作用，安培力使导体运动起来，这种作用就是电磁驱动。 micropump 最早始于1980年Stanford大学Smits和Wallmark所对压电薄膜驱动的微型蠕动泵的研究； 1988年Vanlintel等将压电薄膜驱动的微型往复位移泵成功应用于胰岛素的注射中。 micropump 就其驱动原理而言，可分为： 薄膜驱动泵、电液动力泵(EHD)、磁液动力泵(MHD)、行波传递液体泵、凝胶驱动泵等。 按流体出入口状态，微泵又可分为： 有阀泵 无阀泵 微型薄膜泵 微型薄膜泵是依靠一定致动器推动泵膜变形，引起泵腔内的压力变化，并配以出、入口阀的控制，使流体定向流动。 薄膜驱动泵根据其薄膜驱动机制的不同，又可分为：热气、静电、电磁、电容、压电(片或堆层)、双金属、形状记忆合金等驱动泵。 （1）静电驱动微泵Micropump with static actuation （1）静电驱动微泵 德国Zengerle等研究的静电驱动微泵是由四层体微加工好的硅片、以及用于静电驱动的负电极组成(如图)。在泵膜和负电极间施加交变电压时，泵膜由于强静电力的作用反复平直弯曲，致使泵腔体积周期性变化，使流体不停地泵入泵出。 静电微泵的优点就是工作频率非常高(可达kHz)，且所用材料为IC常用材料，易与控制电路集成在同一芯片上。缺点是因电极间隙限制，驱动电压较高(几百伏特)，而驱动力却并不大，且位移较小(约几μm)；另外还需防止电压击穿绝缘膜。 （2）压电式微泵micropump with piezoelectric actuation 压电式微泵 压电(PZT片)式微泵的驱动主要利用了压电薄膜(片)的负压电效应，通过外加交变电压控制泵上方的压电薄膜(片)，产生负压电效应，使泵膜产生周期性振动，即实现流体从入口到出口的流动。 现在所用压电结构主要有：压电薄膜、压电片、PZT堆、双晶压电片等。泵膜上压电薄膜的加工方法主要有溶胶-凝胶法和平面印刷法；而压电片一般是粘在泵膜上。所用压电材料主要有PZT、ZnO、AlN等。 （3）形状记忆合金微泵Shape memory alloy micropump  形状记忆合金(SMA)微泵实际上也利用了热致动原理，其驱动力来自合金的相变。一般在MEMS中所用的SMA均为TiNi基合金。通过简单的通电加热冷却，即可实现相变。 现在所采用的SMA薄膜主要是由体材料加工或溅射获得。在硅泵膜上溅射沉积一层TiNi膜，而后将此膜图案化，得到TiNi电阻条。通过周期性加热冷却此电阻条，使TiNi反复发生奥氏体—马氏体相变，带动泵膜往复振动，从而驱动泵工作。 2 无阀型微泵 无阀扩散泵是指由注入口/喷嘴来代替泵中的入口阀和出口阀。这种泵的特点是无阀以及顺流方向的流阻比逆流方向小。 按流体流动方向性可分为单向和双向无阀微泵。 （1）单向无阀微泵 Single direction valve-less micropump 瑞典的A. Olsson等研制的单向无阀微泵结构原理见图所示。 该微泵有两个腔室，每个腔上下层各有一个泵膜(表面贴有压电片)及两个开口方向相反的锥形通道。对两腔室的压电片通入相位相反的电压，使Ｉ腔室的泵膜向腔室外部运动，体积膨胀，腔室外流体向内流入，由于1#与2#通道相比流阻小，则形成1#→2#通道的净流体流向；同时II腔室泵膜向腔室内部运动，体积缩小