直拉單晶硅设备与工艺研究毕业设计书.docVIP

目 录 摘要 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Ⅰ Abstract .......................................................... Ⅱ 第一章 1 1.1单晶硅的制备方法 ...............................................1 1.1.1区熔法 .................................................... 1 1.1.2直拉法 .................................................... 1 1.2直拉单晶硅的特点 ...............................................2 第二章 直拉单晶炉设备结构及保养与维护 .............................3 2.1直拉单晶硅炉的结构 .............................................3 2.2直拉单晶设备中的各类装置 .......................................4 2.3直拉单晶炉保养和维修简介 .......................................7 第三章 直拉单晶硅的工艺流程与常见故障处理 ....................... 8 3.1直拉单晶硅的一般工艺流程 .......................................8 3.2拉晶过程中的异常情况及处理 ....................................13 3.2.1熔硅过程中的异常情况及其处理 ............................. 13 3.3.2硅跳 ..................................................... 13 3.2.3突然停电及熔硅时未通水 ................................... 14 3.3单晶炉常见故障 ............................................... 14 第四章 单晶炉热场的研究和技术改进 ................................16 4.1直拉单晶炉的热场 ..............................................16 4.2直拉单晶炉热场控制系统 ........................................17 结论 ..............................................................19 参考文献 ..........................................................20 致谢 ..............................................................21 直拉单晶硅设备与工艺研究 摘要 得益于全球光伏产业的高速发展，我国光伏产业近年来也迅速腾飞。目前，我国已经成为光伏产业大国，各地大力发展太阳能产业，许多单晶硅企业纷纷上马。研究和掌握单晶硅的制取工艺显得尤为重要。目前单晶硅制备的主要方法有直拉法与区熔法，而国内大部分单晶硅都是采用直拉法制备的。直拉法生长单晶硅的设备和工艺比较简单，容易实现自动控制，生产效率高，易于制备大直径单晶，容易控制单晶中杂质浓度，可以制备低电阻单晶。 本论文详细介绍了直拉单晶炉的结构与直拉单晶硅的工艺流程，并对实际生产中可能遇到的常见问题进行了分析，最后对一些关键工艺如热场设计方面提出自己的改进建议。 关键词：直拉法；单晶硅；单晶炉；热场；工艺改进 Czochralski silicon device and process research Abstract Thanks to the rapid development of the global PV industry, the photovoltaic industry in China in recent years