半导体集成电路西安理工大学讲义.pdfVIP

1半导体 集成电路 学校：西安理工大学 专业：电子、微电 时间：秋季学期 主讲教师：余宁梅 2第1章：绪 论 集成电路的基本概念 过去、现状、发展 面临的主要问题 课程内容 集成电路产业在 我国的发展现状 考核方法 3提纲 一.集成电路的概念 二.集成电路的过去，现在和未来 三.集成电路面临的主要问题 四.我国产业现状 五.本课程主要内容 六.教材及主要参考资料 七.课程要求及考核方法 4提纲--1 一.集成电路的概念 1.什么是集成电路？ 2.集成电路的分类 3.相关基本概念 5日常生活中的集成电路 无处不在，彻底渗入并改变了人类生活方式 6什么是集成电路？ 电阻 电容 二极管 三极管 是不是集成电路？ 7将电子元器件按照一定的要 求连接起来,完成一定的功能 将所有元器件和连线做在同 一个基板上,组成系统 8?集成电路—微电子技术的核心 Integrated Circuit，缩写 IC – 通过一系列特定的加工工艺， 将晶体管、二极管等有源器 件和电阻、电容等无源器件， 按照一定的电路互连，“集 成”在一块半导体单晶片 （如硅或砷化镓）上，封装 在一个外壳内，执行特定电 路或系统功能 裸片 “衣服” 9集成电路从哪里来？ 10 从沙子到CPU U1 LM311 7 2 3 1 8 4 6 5 OUT + - G V + V - B/SB 0 R6 4.8k Q4 Q2N2222 R7 1k U5A 74LS00 1 2 3 0 C1 10uF R9 5k V1 5Vdc R10 1k VCC Doc RevCode Title A 1 1Tuesday, May 21, 2002 Title Size Document Number Rev Date: Sheet of 0 VCC C2 0.01uF 0 U6A 74LS04 1 2 U3 LM311 7 2 3 1 8 4 6 5 OUT + - G V + V - B/SB 0 0 R12 1k R4 4.8k R8 5k 0 RL 10k R5 5k U4A 74LS00 1 2 3 12 相关基本概念 形状：一般为正方形或矩形 面积: 几平方毫米到几百平方毫米。面积增大引起 功耗增大、封装困难、成品率下降，成本提高，可通过 增大硅园片直径来弥补。 晶圆尺寸 (Wafer Size) 芯片尺寸 (Die Size) 6英寸、8英寸、12英寸 几平方毫米到几百平方毫米 13 特征尺寸 ? 集成电路器件中最细线条的宽度，对MOS器件常指栅极所 决定的沟道几何长度，是一条工艺线中能加工的最小尺寸。 ? 反映了集成电路版图图形的精细程度，特征尺寸的减少主 要取决于光刻技术的改进（光刻最小特征尺寸与曝光所用波 长）。 14 集成度、规模： 模拟集成电路：每块芯片包含的晶体管数目 数字集成电路：每块芯片包含等效逻辑门 2输入的NAND=4个晶体管 半导体存储器：每块芯片包含存储单元数 15 ? 按实现方法分类 ? 按电路规模分类 ? 按导电载流子类型分类 ? 按电路处理信号方式分类 ? 按电路功能分类 ? 按设计方法分类 集成电路的分类 16 混合 集成电路 由半导体集成电路，膜 集成电路和分离元件中 至少两种构成的集成电路 半导体 集成电路 半导体单晶为基片，将 构成电路的各元器件制 作于同一基片上，布线 连接构成的集成电路 薄膜 集成电路 由金属和金属合金薄膜 以及半导体薄膜制成元 器件，布线连接构成的 集成电路 ?按实现方法分类 集成电路的分类-1 17 ?小规模集成电路 (Small Scale IC，SSI) ?中规模集成电路 (Medium Scale IC，MSI) ?大规模集成电路 (Large Scale IC，LSI) ?超大规模集成电路 (Very Large Scale IC，VLSI) ?特大规模集成电路 (Ultra Large Scale IC，ULSI) ?巨大规模集成电路 (Gigantic Scale IC，GSI） 集成电路的分类-2 ?按电路规模分类 18 划分集成电路规模的标准 数字集成电路 类 别 MOS IC 双极 IC 模拟集成电路 SSI ＜102 ＜100 ＜30 MSI 102～103 100～500 30～100 LSI 103～105 500～2000 100～300 VLSI 105～107 ＞2000 ＞300 ULSI 107～109 GSI ＞109 19 集成电路的分类-3 ?按导电载流子类型分类（实现工艺） 电流I 参与导电的载流子 既有空穴又有电子， 称为双级型 BJT型 Bipolar Junction Transistor 电流I 参与导电的载流 子只有空穴或电 子，称为单级型 MOS型 MOS Tra