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第 32卷第 3 期 2012 年 3 月 真空科学与技术学报 CHINFSE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOWGY 基于差异进化算法的椭偏测量数据反演 王党社 王海娇l 张建科2 (1.西安工业大学理学院西安 71∞32; 2.西安邮电学院应用数理系西安 710121) Data Inversioo Algorithm of EUipsometηBased 00 Differeotial Evolutioo Op伯国zatioo WangD~严he1 备 ， Wang Haijiao1 ,Zhang Jianke2 ( 1.拙001 of SCú!I睛 ， Xi QlI 11仅如wlngü鬼1 Uni?rs仰 ， Xi QlI 7H阳2 ， C抽阳 2. /Jepm切lOII. of柳lied Ma仇ematics and Phy师，刀 ， QlI Uni?rsity of P.ωts and Telecommun阴阳邸，刀 ， QlI 710121 , Q曲回) 263 Abstract A novel t田hnique ， data inversion algori恤， was devel。同 ro mo曲曲e conventio叫 data-processi吨。f e血psome町 meas阻四nent involving the film thickr阳s and deflections. 咀1e data inversion algorithm was derived from 出e differential evolution (DE) on the basis of swarm intellect 由四巧.咀1e ell盼四句也饱。f 由e monolayer absOlption films were processedωt四t its validity. The results show 归1 the data-inversion t配hnique wo出 OK. For instance , ù蛇出m key 归rameters of 由e film , including the deflection index，目tinction coefficient , and film thickn四s (n , k ，皿d d) can be derived; the best solution converges rapidly , even after ramping the w由lOWD 阳rameters in the 缸irly 阳gera鸣. Besides, 也e ∞m阳血ons of our results 明白白帽 oh国ned hy 由e conventional 也饱-processi吨 techni甲俑， such as 阳rticleswarm optimization , genetic algori由m， and the 回ftw配归ckage dedicated to ellipsorne町 data-proc臼s10n ，∞nfim时也at 曲也u inversion algorithm is ca归ble of intelligently proc臼sing theωmplicated e.血阳m盯 S阳trawi也 high precision. K叮words Differential evolution optimization , Ellips拥陀町，Optical fil肌 摘要 为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题，采用一种新的基于群体智能的优化算法- 差异进化算法处理实验数据;以单层吸收薄膜的测量为例，利用该算法进行数据处理，实验结果表明，三个薄膜参数(折射率 n ， 消光系数 k 和薄膜厚度 d)是可以同时获得的，而且在未知参数确切范围情况下，较大范围内进行搜索仍然能保证快速收敛 到最优解。文中算法和粒子群算法、遗传算法以及利用椭偏仪数据处理软件得出的结果相比较，表明该算法在椭偏测量数据 反演中是一种可行的智能优化算法。 关键词差异进化算法椭偏法光学薄膜反演 中图分类号:但84.41 文献标识码 :A 也重:10.3锁J9/j.issn.I672 -7126.2012.03.17 随着薄膜技术的广泛应用，薄膜光学特性和表面 形态的准确测量已经成为薄膜研究的重要问题[1-2J 。 其中椭圆偏振测量技术因具有测量精度高凶，非破坏 性和非扰动性而广泛应用于各个领域。椭偏测量方 法比较容易掌握，但是由于测量数据求解薄膜参数的 椭偏方程非常复杂，是一个超越方程，不能直接得到 解析解，所以